No chão de fábrica, a cura de poliimida não é apenas mais uma etapa térmica. É uma promessa dimensional. Alterar a temperatura em apenas alguns graus...

No piso de litografia, aprende-se rápido que uma variação de meio grau na soft bake altera o orçamento de CD, e uma hard bake que não seja uniforme...

No piso da fábrica, você sabe como funciona. Uma deriva de ±0,5°C durante a cura do fotoresiste é suficiente para descartar um lote de 500 wafers. É...