Smettete di sprecare calore
Quando si riscalda una wafer, aumentare la potenza utilizzata non è la soluzione. Non si tratta della quantità di energia disponibile, ma di dove va effettivamente allocata quell’energia.
Nella maggior parte dei casi, l’energia viene semplicemente persa nelle pareti della camera di riscaldamento. È uno spreco inutile. Ecco perché utilizziamo riflettori rivestiti d’oro: invece di lasciare che il calore vada disperso, lo facciamo tornare direttamente sul substrato da riscaldare.
Perché l’oro?
Pensate a una lampada a quarzo standard: essa emette energia in tutte le direzioni, ovvero a 360 gradi. In un sistema di riscaldamento, ciò significa che metà dell’energia prodotta viene persa subito dopo essere stata generata.
Per risolvere questo problema, utilizziamo uno strato sottile d’oro. Non si tratta di questioni estetiche: l’oro presenta un’emissività estremamente bassa nello spettro infrarosso. La percentuale di riflessione è superiore al 98%. In pratica, quasi ogni singolo watt prodotto dal filamento viene riflesso come radiazione concentrata.
Ottenere la temperatura perfetta
La vera magia avviene grazie alla forma del riflettore: modificandone la forma, possiamo indirizzare il flusso di calore esattamente dove è necessario sulla wafer.
Questo è fondamentale per ottenere velocemente la temperatura desiderata, senza che si verifichino picchi di temperatura indesiderati. Si ottiene così un profilo termico uniforme su tutta la superficie, evitando così che alcune zone diventino troppo calde e rovinino il lotto di wafer.
Alcune cose da tenere in considerazione
Ecco il problema: quando si concentra il calore in questo modo, la densità energetica aumenta. È quindi necessario assicurarsi che il sistema di raffreddamento sia in grado di gestire il calore in eccesso. Se la circolazione dell’aria è troppo debole, il rivestimento d’oro può iniziare a deteriorarsi a causa del calore ambiente. Controllate sempre la superficie del riflettore: se notate cambiamenti di colore, ossidazione o sporco, l’efficienza del sistema diminuirà.
Come installarlo
La cosa migliore è che questi dispositivi possono essere installati direttamente al posto degli vecchi riscaldatori a infrarossi. Potrete utilizzare gli stessi alimentatori che già avete. Ma una volta che i dispositivi saranno in funzione, noterete qualcosa di interessante: il consumo energetico totale diminuirà, anche se le wafer raggiungeranno comunque le stesse temperature. È semplicemente una questione di utilizzare al meglio l’energia che già pagate.