Mantenere una sala pulita di classe 100 effettivamente pulita
Se gestite una sala pulita di classe 100, sapete bene quanto sia problematico il problema delle particelle inquinanti. Anche un piccolissimo frammento o una leggera emissione di gas da parte degli elementi riscaldanti può rovinare la qualità dei semiconduttori prodotti. È davvero frustrante.
Ecco perché abbiamo smesso di utilizzare i riscaldatori tradizionali e abbiamo optato per tubi di quarzo sintetico ad alta purezza, con uno strato riflettente in oro.
Perché l’oro è importante
La maggior parte delle lampade a infrarossi emette calore in tutte le direzioni. Ma nei dispositivi per semiconduttori questo rappresenta uno spreco: ci interessa soltanto che il calore raggiunga il wafer. Per questo motivo, applichiamo uno strato sottile di oro sulla superficie posteriore del tubo di quarzo. Questo strato funge da specchio, facendo concentrare tutta l’energia infrarossa sulla superficie del wafer. Il risultato? Una maggiore densità di calore, senza dover aumentare la potenza della lampada. Inoltre, l’oro è chimicamente inerte: non si ossida né si stacca dalla superficie del tubo, quindi l’obiettivo di “zero contaminazione” rimane davvero realizzabile.
I problemi causati dalle impurità e dal calore
Utilizziamo sempre il quarzo ad alta purezza, poiché egli impedisce alle impurità di migrare quando la temperatura sale. Queste lampade sono progettate per resistere a cicli termici intensi senza subire danni. Tuttavia, bisogna fare attenzione: lo strato d’oro concentra tantissima energia sul lato anteriore del tubo. È importante che i sistemi di raffreddamento siano correttamente impostati; altrimenti il quarzo potrebbe surriscaldarsi.
Installazione e mantenimento
Abbiamo progettato queste lampade in modo che possano essere sostituite facilmente. Non c’è bisogno di complicazioni. Abbiamo migliorato i sigilli per evitare che entrino particelle durante l’installazione. Un consiglio riguardo al cablaggio: assicuratevi che l’alimentazione elettrica sia stabile. I picchi di tensione possono distruggere il filamento della lampada molto prima del tempo previsto. Se notate una diminuzione dell’efficienza della lampada, probabilmente è dovuta a sporco presente sulla superficie del quarzo. Utilizzate quindi un solvente adatto per pulirle correttamente.
Attenzione: evitate assolutamente di utilizzare panni abrasivi. Essi graffiano lo strato protettivo e creano proprio quelle particelle che cercate di eliminare. Utilizzate soltanto materiali morbidi per la pulizia.