ऊर्जा कुशल वेफर हीटर
वेफरों के संदूषण को शुरू होने से ही रोकें ईमानदारी से कहें तो, उच्च-लोड वाली सेमीकंडक्टर उत्पादन लाइनों में इन्फ्रारेड लैंपों का फटना वाकई एक बड़ी...
एमईएमएस सेंसर वेफर को सुखाने हेतु हीटर
काँच की बौछारों को रोकें: IR सुखाने की प्रक्रिया में अपने वेफरों को स्वच्छ रखें MEMS सेंसरों के उत्पादन में, इन्फ्रारेड लैंपों में खराबी आना एक बड़ी...
वेफरों के लिए परिशुद्धता संपन्न आईआर सेंसर
वेफर प्रसंस्करण में कार्बन उत्सर्जन को कम करना (बिना अपना समय बर्बाद किए)
वर्तमान में हर सेमीकंडक्टर कारखाना नेट-ज़ीरो लक्ष्यों को प्राप्त करने के...
वेफर टूल के लिए तापमान सेंसर
हम वेफरों के संसाधन हेतु IR हीटिंग क्यों अपना रहे हैं? आजकल हर कोई “कार्बन न्यूट्रालिटी” की बात कर रहा है। एक्सीसरेटर उद्योग में इसका मतलब यह है कि...
वेफर को गर्म करने हेतु सुरक्षा दूरी
आईआर विधि से वेफरों को गर्म करते समय चीजों को सुरक्षित रखना आवश्यक है।
ईमानदारी से कहें तो, उच्च तापमान वाले इन्फ्रारेड लैंपों को ज्वलनशील घोलों के...
वेफर क्यूरिंग लैंप हेतु रिफ्लेक्टर
अपनी वेफर क्योरिंग प्रणाली को “ओवन” में बदलने से रोकें आईआर लैंपों की समस्या यह है कि वे हर दिशा में ऊष्मा उत्सर्जित करते हैं… 360 डिग्री में।...
वेफरों के लिए उच्च सटीकता वाली ऊष्मा/गर्मी
लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान आधा डिग्री का अंतर भी कोई मामूली बात नहीं है। इसके कारण विद्युत परीक्षणों में समस्याएँ...
डीएनएस (स्क्रीन) वेफर ड्रायर लैंप
300 मिमी लाइन पर, ओवन स्थिर दिखता है; लेकिन “सॉफ्ट बेक” के बाद भी फोटोरेसिस्ट की संरचना में परिवर्तन होता रहता है। इसके कारण एचडीपी प्रक्रिया में...
उन्नत वेफर निर्माण सुविधाओं हेतु क्षेत्रवार हीटिंग प्रणाली
देखिए, 300 मिमी आकार का वेफर ट्रैक से नीचे गिरकर बेक मॉड्यूल में जा रहा है। फोटोरेसिस्ट को लक्ष्य तापमान तक पहुँचना ही होता है… हर जगह तापमान समान...
वेफर फैब के लिए पॉलीइमाइड ठोसकरण
फ़ैब फ्लोर पर, पॉलीइमाइड क्योरिंग केवल एक और थर्मल स्टेप नहीं है। यह एक आयामी वादा है। वेफर के ऊपर तापमान को कुछ डिग्री भी ऊपर या नीचे करने से तनाव...