वेफरों के संदूषण को शुरू होने से ही रोकें
ईमानदारी से कहें तो, उच्च-लोड वाली सेमीकंडक्टर उत्पादन लाइनों में इन्फ्रारेड लैंपों का फटना वाकई एक बड़ी समस्या है।
यह केवल हीटर के बंद होने की समस्या नहीं है… जब क्वार्ट्ज ट्यूब फट जाती है, तो उसके टुकड़े एवं रासायनिक पदार्थ वेफर की सतह पर गिर जाते हैं… ऐसी स्थिति में पूरा बैच बर्बाद हो जाता है।
हमने ऐसी स्थितियों को रोकने हेतु बहुत समय लगाया है।
ऊष्मा एवं दबाव से निपटना
अक्सर, ऐसे लैंप तब फट जाते हैं, जब ऊष्मा समान रूप से नहीं वितरित होती, या आंतरिक दबाव बहुत तेज़ी से बढ़ जाता है।
इस समस्या को दूर करने हेतु हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं… ऐसा क्वार्ट्ज तेज़ गर्मी/ठंड के चक्रों को भी सहन कर सकता है… हम ट्यूब की मोटाई पर भी ध्यान देते हैं… अगर ट्यूब बहुत पतली हो, तो वह फट जाती है… अगर बहुत मोटी हो, तो ऊर्जा बर्बाद हो जाती है… हम ऐसा संतुलन ढूँढते हैं, जिसमें ट्यूब मजबूत रहे, लेकिन फिर भी ऊष्मा अंदर जा सके।
सुरक्षा उपाय
बेहतरीन क्वार्ट्ज होने के बावजूद भी कुछ गलतियाँ हो सकती हैं… इसीलिए हम सुरक्षात्मक कवरों का उपयोग करते हैं… ऐसे कवर लैंप टूटने पर उसके टुकड़ों को वेफर तक पहुँचने से रोकते हैं…
एक और टिप – हम ऐसे चिपकने वाले पदार्थों से दूर रहते हैं, जो गर्म होने पर धुआँ छोड़ते हैं… ऐसा धुआँ तो हानिरहित लग सकता है, लेकिन यह सिलिकॉन पर परत बना देता है, जिससे सब कुछ बर्बाद हो जाता है।
सही वोल्टेज एवं वॉटेज
ऊष्मा की मात्रा वोल्टेज एवं वॉटेज पर निर्भर है… हम फिलामेंटों को सावधानी से रखते हैं, ताकि “हॉट स्पॉट” न बनें… ऐसे हॉट स्पॉट समय के साथ क्वार्ट्ज को कमज़ोर कर देते हैं… जिससे दरारें भी बन जाती हैं…
आपको यह भी सुनिश्चित करना होगा कि आपका पावर सप्लाई लैंप के इम्पीडेंस के अनुरूप हो… अगर वोल्टेज सही न हो, तो लैंप जल्दी ही खराब हो जाएगा…
अंत में – अगर आप अधिकतम ऊष्मा प्राप्त करना चाहते हैं, तो आपको अपने कूलिंग सिस्टम को भी ठीक रखना होगा… वरना हीटर का फ्रेम विकृत हो जाएगा… यह अच्छा नहीं होगा।