वेफरों के लिए उच्च सटीकता वाली ऊष्मा/गर्मी

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान आधा डिग्री का अंतर भी कोई मामूली बात नहीं है। इसके कारण विद्युत परीक्षणों में समस्याएँ...