अपनी दीवारों को गर्म करना बंद करें… बल्कि वेफरों को ही गर्म करें।
ईमानदारी से कहें तो, सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया में अनियंत्रित गर्मी एक बड़ी समस्या है।
यदि आप पुराने तरह के हीटरों का उपयोग कर रहे हैं, तो आपने इस समस्या को जरूर महसूस किया होगा। ऐसे हीटरों से ऊर्जा सीधे वेफर पर नहीं, बल्कि पूरे चेंबर में ही फैल जाती है। इससे चेंबर की आंतरिक दीवारें बहुत गर्म हो जाती हैं। यह ऊर्जा का अपव्यय है, एवं मशीन के आसपास काम करने वाले लोगों के लिए यह एक गंभीर सुरक्षा जोखिम भी है। जबकि आपको तो केवल सिलिकॉन को ही गर्म करने की आवश्यकता है… तो फिर इतनी ऊर्जा क्यों खर्च करें?
समाधान है – दिशात्मक आईआर तकनीक।
बल्ब की तरह ऊर्जा को हर दिशा में फैलने देने के बजाय, हम आंतरिक परावर्तकों का उपयोग करके उस ऊर्जा को एक विशिष्ट दिशा में ही भेजते हैं। इससे “ओवन इफेक्ट” नहीं होता… क्योंकि ऊर्जा की किरणें सीधे वेफर पर ही पड़ती हैं। आप मशीन की बाहरी सतह को छू सकते हैं… और वह ठंडी ही रहेगी… भले ही ड्राइंग जोन में वेफरों से नमी हटाने हेतु बहुत अधिक ऊर्जा उपयोग में आ रही हो।
लेकिन ध्यान रखें… यह कोई जादुई उपाय नहीं है। कुछ बातों का ध्यान रखना आवश्यक है।
यहाँ सटीकता ही सब कुछ है। यदि लैंप की दिशा में कुछ डिग्री की गड़बड़ी हो जाए, तो ऊर्जा वेफर पर नहीं, बल्कि मशीन के अन्य हिस्सों पर ही पड़ेगी। ऐसे में आपको एक मजबूत माउंटिंग ब्रैकेट की आवश्यकता है… ताकि ऊर्जा की किरणें सही दिशा में ही जाएं।
इसके अलावा, ऊर्जा-घनत्व का भी ध्यान रखना आवश्यक है… क्योंकि जब ऊर्जा एक ही जगह पर केंद्रित होती है, तो लैंप का फिलामेंट बहुत गर्म हो जाता है। इसलिए आपको अपने कूलिंग फैनों को ठीक से काम करने देना होगा… वरना क्वार्ट्ज कवर टूट सकता है… और फिर आपको गंभीर समस्याओं का सामना करना पड़ेगा।
लेकिन फिर भी, इसका लाभ तो बहुत ही है…
आपके ऊर्जा-बिल कम हो जाते हैं… लेकिन सबसे बड़ा लाभ तो यह है कि अब ऑपरेटरों को रखरखाव के दौरान या वेफर लोड करते समय कोई चोट नहीं लगेगी। ऊर्जा ठीक उसी जगह पर ही जाती है… जहाँ उसकी आवश्यकता है।