حفظ تمیزی محفظههای خلأ
وقتی که در یک اتاق تمیز کلاس ۱۰۰ کار میکنید، کوچکترین اشتباه میتواند فاجعهبار باشد. حتی یک ذره گرد و غبار یا مقدار کمی گاز شیمیایی که در حین گرم کردن سیستم نشت کند، میتواند ویفرهای شما را از بین ببرد.
اکثر عناصر گرمایشی استاندارد، برای این منظور مناسب نیستند؛ زیرا باعث نشت مواد آلاینده میشوند. به همین دلیل، ما از کوارتز مصنوعی با خلوص بالا برای لامپهای مادون قرمز خود استفاده میکنیم؛ چرا که این مواد همچنان تمیز باقی میمانند.
مشکلات مربوط به انتشار گازها
ما از کوارتز سیلیکا فیوزد شده استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده در شرایط دمای بالا دچار مشکل نمیشود. برخلاف شیشه معمولی، این ماده تجزیه نمیشود و مواد آلایندهای را به داخل محفظه منتشر نمیکند.
در شرایط خلأ، یک ذره ریز، صرفاً یک ذره گرد و غبار نیست؛ بلکه یک نقص محسوب میشود. با حذف ناخالصیهای موجود در کوارتز، مطمئن میشویم که کربن یا فلزاتی به فرآیند کاری شما اضافه نشود.
توان و گرما
از آنجایی که تشعشعات مادون قرمز نیازی به وسیطی برای انتقال انرژی ندارند، برای استفاده در محیطهای خلأ بسیار مناسب هستند. ما این لامپها را با چگالی توان بالا طراحی کردهایم؛ تا بتوانید گرما را به سرعت افزایش دهید. انرژی مستقیماً به قطعه کار منتقل میشود؛ که این امر خوب است، زیرا از جذب گرمای اضافی توسط دیوارههای محفظه جلوگیری میکند.
البته، لامپهایی با توان بالا، زمان شما را صرفهجویی میکنند؛ اما بر روی سیستمهای خلأ فشار زیادی وارد میکنند. حتماً مطمئن شوید که مهرههای مورد استفاده بتوانند با تغییرات دمایی مقاومت کنند؛ تا از از بین رفتن سیستم خلأ جلوگیری شود.
نصب لامپها
ما اتصالات لامپها را استاندارد کردهایم؛ بنابراین میتوانید آنها را بدون نیاز به تغییر سیمکشی، در جای خود نصب کنید. این کار، مشکلات زیادی را از بین میبرد. همچنین، کوارتزها را به خوبی صیقل دادهایم؛ تا از ایجاد نقاط داغ جلوگیری شود. این کار، از خراب شدن زودهنگام لامپها جلوگیری میکند.
اگر از سیستمهای خلأ با فشار بالا استفاده میکنید، حتماً سیستم خنککننده لامپها را بررسی کنید. این لامپها مقدار زیادی انرژی را به قطعه کار منتقل میکنند؛ بنابراین، انتهای سیمها میتواند به اندازهای داغ شود که سیمهای ارزانقیمت ذوب شوند. حتماً از سیمهایی با مقاومت حرارتی بالا استفاده کنید؛ تا از ایجاد مدار کوتاه در سیستم جلوگیری شود.