Deje de perder calor en sus sistemas de obleas de silicio
Cuando se calientan las obleas de silicio, cada vatio cuenta. El problema es que los revestimientos estándar de acero inoxidable funcionan como esponjas: absorben demasiada energía infrarroja. Eso no solo desperdicia energía, sino que también convierte el chasis del equipo en un gran disipador de calor.
Hemos resuelto este problema revistiendo el interior del revestimiento del calentador con oro de alta pureza.
¿Por qué el oro?
No se trata de lucir elegante, sino de la capacidad del oro para manejar la radiación infrarroja. Las lámparas de halógeno o cuarzo emiten longitudes de onda que el oro refleja perfectamente. En lugar de que el revestimiento absorba el calor, la capa de oro refleja hasta el 98% de esos fotones directamente sobre la oblea. Así, la energía llega exactamente donde debe estar.
Existen algunas consideraciones prácticas. Construimos estos revestimientos con acero inoxidable de alta calidad, para que no se deformen cuando el equipo se calienta. Para asegurarnos de que el oro no se desgaste, lo aplicamos mediante deposición al vacío sobre la superficie.
Pero hay un detalle importante: el oro es delicado. Si su proceso utiliza gases corrosivos, el revestimiento puede deteriorarse. Una vez que eso sucede, la eficiencia del sistema disminuye y los tiempos de procesamiento aumentan. Si ese es su caso, añada una protección de cuarzo para mantener el oro limpio.
Qué beneficios ofrece esto
El mayor beneficio es la velocidad: alcanzará las temperaturas deseadas mucho más rápidamente. Esto le da dos opciones: puede reducir la potencia de las lámparas para no sobrecargar su fuente de alimentación, o bien puede acortar los tiempos de calentamiento y procesar más obleas por unidad de tiempo.
Un consejo rápido: cuando conecte todo esto, no olvide ajustar los controladores PID. El sistema ahora será mucho más reactivo, así que tendrá que tomar eso en cuenta.
Además, como el calor se concentra en la oblea, el resto de la máquina permanece más fría. Los ventiladores de enfriamiento no tendrán que trabajar tanto, lo cual es un beneficio para todos.