V procesu litografie nejsou půlstupňové odchylky během zahřívání fotorezistu nějakým drobným problémem. Projevují se sníženou kvalitou výrobků při elektrických testech a nárůstem počtu částic, které je potřeba odstranit v rámci oprav. Zahřívání pomocí infračerveného záření musí zajistit nejen dosažení stanovené teploty, ale také stabilní a opakovaně přesné zahřívání celé desky, bez vnášení kontaminantů.
Co je důležité Náš systém pro zahřívání pomocí infračerveného záření je založen na krátkovlnných halogenových emitorách umístěných v modulu s kvartovými prvky. Tento systém umožňuje rychlou reakci a přesnou kontrolu teploty. Na desce o velikosti 300 mm udržujeme rovnoměrnost teploty v rozmezí ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost v jednotlivých cyklech zůstává v rozmezí několika milistupňů. Komora je kompatibilní s prostředím typu Cleanroom od třídy 1 do třídy 100 – používají se materiály s nízkou mírou uvolňování látek a proudění vzduchu je řízeno tak, aby se minimalizoval počet částic. Nulová produkce částic není jen reklamní slogan – záleží na kvalitě povrchu, volbě uzavíracích prvků a strategii odvodu odpadních látek, které brání opětovnému ulpívání produktů fotorezistu na povrchu desky.
V procesu zpracování fotorezistu zajišťuje měkké zahřívání odstraňování rozpouštědel a regulaci napětí ve vrstvě fotorezistu, zatímco tvrdé zahřívání připravuje obrazovku na leptání. Když infračervené záření rychle dosáhne cílové teploty a udrží ji, lze zkrátit dobu procesu bez ztráty kontroly nad jeho průběhem.
Přesnější řízení teploty znamená méně oprav, konzistentnější výsledky a méně energie vynaložené na zbytečné procesy. Systém funguje 24/7 s předvídatelnými intervaly údržby, takže dochází ke snížení neplánovaných výpadků a časový plán výroby zůstává stabilní.
Vysokopřesné zahřívání pomocí infračerveného záření je citlivé na rozdíly v emisivitě mezi jednotlivými vrstvami a podklady. Je potřeba nastavit výkon lamp a parametry jejich provozu pro každý podklad a zajistit správnou synchronizaci s ostatními součástmi zařízení.
Samozřejmě, počáteční kalibrace zabere čas. Ale jakmile je proces nastaven správně, vše zůstane v rozmezí specifikací díky pravidelným kontrolám výkonu lamp a kalibrace teploty.