V provozu výrobní linky je termální rozpočet hranicí, kterou nesmíte překročit. Po implantaci je nutné dosáhnout Aktivační teploty s velmi přesnou distribucí. Pokud se to nepodaří, změní se odpor desky. Poté začíná klesat úspěšnost výroby zařízení.
Konvenční metody zahřívání způsobují odchylky v parametrech a časové zpoždění. Procesní okno se tak rychle zmenšuje.
Co je opravdu důležité Aktivační proces byl navržen s využitím krátkovlnných halogenových zdrojů a kvartového designu pro lepší termickou efektivitu. Energie putuje přímo do waferu, rychle a efektivně. Na celém waferu o rozměrech 300 mm udržujeme jednotnost teploty v rozmezí ±0,1 °C, přičemž profile zahřívání se opakují. To zajišťuje konzistentnost termických podmínek během celého procesu.
Čistá místnost třídy 1–100 je součástí konstrukce: materiály s nízkou úrovní uvolňování plynů, uzavřené rozhraní komory a absence částic zajišťují stabilní podmínky během litografie a leptání. Systém funguje 24/7 bez jakýchkoliv neplánovaných zastavení. Architektura řízení udržuje teplotu fotoresistu v rozmezí menším než ±0,2 °C, takže kritické rozměry zůstávají chráněny.
Proč je to důležité při vysokém objemu výroby Potřebujete reprodukovatelnost, která vydrží i při změnách mezi jednotlivými sériemi výroby. Naše infračervené ohřívače snižují dobu potřebnou na aktivační kroky, zatímco udržují termické napětí pod kontrolou. Díky tomu zůstávají profile fotoresistu stabilní po celém procesu.
Méně oprav, přesnější distribuce odporu desky, nižší spotřeba energie na jeden wafer. U vysokovýkonové linky to znamená plánovatelný průtok výrobků a nižší náklady na jeden proces.
Na co je potřeba dávat pozor Instalace vyžaduje přesnou optickou zarovnání a speciální ventilační systém pro udržení správného tlaku v čisté místnosti. Výkon ohřívačů musí být nastaven podle konkrétního uspořádání waferů a vrstev.
Poskytujeme receptury vhodné pro konkrétní aplikace, ale přesto je potřeba předem ověřit efektivitu na různé druhy implantací a profily zahřívání. Jakmile je systém kalibrován, je dostatečně flexibilní. Ale tento krok instalace není volitelný.