别再把清洗槽变成“烤箱”了
大多数红外线加热器的工作方式相当混乱——它们会将热量向360度方向散发出去。在空间有限的半导体清洗槽中，这种设计只会带来麻烦。
当热量四处散播时，机器的内壁会吸收这些热量。很快，机器的壳体就会变得过热，以至于操作人员无法安全地接触它。这简直是一团糟。
我们通过使用定向红外线灯来解决这个问题。
其工作原理
可以把这种灯想象成聚光手电筒，而不是普通灯泡。这类灯利用反射层或特殊涂层，将热量精准地传递到需要加热的区域——也就是工件上。这样一来，能量就不会被浪费在加热空气或机器框架上，而是直接作用于工件表面。这样就能让晶圆达到所需的温度，而不会让整个机器壳体也变热。这真是更聪明的设计。
处理潮湿环境的问题
清洗槽本质上是潮湿的环境。而水加上高压热源，往往会导致问题出现。如果水分接触到高温的石英灯或渗入接线端，就有可能引发短路。因此，我们会严格密封这些灯体。我们在连接点处使用高质量的密封材料，以防止短路，并避免灯丝氧化。这样的设计能够让灯在高温高湿环境下仍能正常工作。
缺点及应对方法
不过，这种方法也有弊端——因为热量被集中在一起，所以目标区域的温度会非常高。虽然这样能保护机器的壳体，但这就要求我们必须精确控制灯的位置。如果灯距离工件太近，就会导致工件局部过热。因此，我们必须精确调整安装支架，确保间距保持一致。
好消息是，我们的产品可以直接替代现有的清洗模块。只需将其连接到PID控制器上，就能保持温度稳定。这样一来，不仅可以保证工艺的顺利进行，还能保障操作人员的安全。就这么简单。