用于晶圆红外处理的高精度加热装置

在光刻工艺中，光阻烘烤过程中哪怕只有半度的温度偏差，也绝非可以忽视的小问题。这种偏差会导致电气测试时的合格率下降，同时还会产生大量杂质，需要通过返工来解决。因此，晶圆的红外线加热系统不仅要能够达到设定温度，还必须确保整个晶圆上的温度保持稳定且可重复，同时避免产生任何污染。 关键在于什么？ 我们设计...