如何保持真空室内的清洁状态
在100级洁净室中工作时，哪怕是最微小的错误都可能导致灾难性后果。哪怕有一点点灰尘或化学气体在加热过程中泄漏出来，都会毁掉晶圆。
大多数常规的加热元件并不适合用于这种环境。它们会释放出污染物，从而污染基材。因此，我们使用高纯度的合成石英来制作红外灯管，这样才能确保其始终处于干净的状态。
关于气体逸出的问题
我们使用熔融石英，因为它在高温下也不会出现问题。与普通玻璃不同，它不会分解或释放出有害的挥发性有机化合物。在真空环境中，哪怕是极微小的颗粒也属于缺陷。通过去除石英中的杂质，我们可以避免在加工过程中引入碳或金属等杂质。
功率与热量
由于红外线不需要介质来传播，因此它非常适合在真空环境中使用。我们设计的这些灯管具有很高的功率密度，因此可以快速提升温度。能量直接作用于工件上，这样可以避免腔室壁吸收过多的热量。
不过需要注意的是：虽然高功率灯管能节省时间，但它们会对真空密封装置造成较大压力。务必确保密封件能够承受局部热膨胀带来的影响，否则会导致密封失效。
安装方式
我们采用了标准化的连接器，这样就可以直接将灯管安装到位，无需重新连接整个电路，从而省去很多麻烦。此外，我们还对石英表面进行了精细抛光，这样可以避免形成“热点”，而“热点”往往是导致灯管过早损坏的原因。
如果您使用的是高真空系统，请务必检查冷却系统。这些灯管会向目标物体释放大量能量，使得灯管末端变得非常热，甚至可能烧坏廉价的电线。请使用耐高温的导线，以避免电路短路。