Giữ cho các buồng chân không luôn sạch sẽ
Khi làm việc trong phòng sạch loại 100, ngay cả những sai sót nhỏ nhất cũng có thể gây ra hậu quả nghiêm trọng. Chỉ cần một hạt bụi nhỏ hoặc một lượng khí hóa học nhỏ rò rỉ ra ngoài trong quá trình gia nhiệt, thì wafer của bạn sẽ bị hư hỏng.
Hầu hết các linh kiện gia nhiệt thông thường không thể hoạt động tốt trong môi trường chân không. Chúng có thể tiết ra các chất gây ô nhiễm, khiến chúng ta phải loại bỏ chúng khỏi bề mặt wafer. Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao cho các bóng đèn hồng ngoại trong môi trường chân không. Loại thạch anh này giúp duy trì môi trường sạch sẽ.
Vấn đề liên quan đến việc giải phóng khí
Chúng tôi sử dụng thạch anh silicat vì loại này không bị ảnh hưởng khi nhiệt độ tăng cao. Khác với thủy tinh thông thường, thạch anh silicat không bị phân hủy hay giải phóng các chất hữu cơ dễ bay hơi vào buồng chân không. Trong môi trường chân không, một hạt bụi nhỏ cũng có thể gây ra những lỗi nghiêm trọng. Bằng cách loại bỏ các tạp chất trong thạch anh, chúng tôi đảm bảo rằng không có chất carbon hay kim loại nào lẫn vào quá trình sản xuất.
Năng lượng và nhiệt độ
Vì bức xạ hồng ngoại không cần môi trường truyền dẫn, nên nó rất phù hợp để sử dụng trong môi trường chân không. Chúng tôi thiết kế các bóng đèn này với mật độ năng lượng cao, giúp tăng nhiệt độ nhanh chóng. Năng lượng được truyền trực tiếp vào vật liệu cần xử lý, điều này giúp tránh việc các bức tường của buồng chân không hấp thụ quá nhiều nhiệt.
Tuy nhiên, cần lưu ý rằng các bóng đèn công suất cao giúp tiết kiệm thời gian, nhưng chúng lại gây áp lực lớn lên các bộ phận đóng kín chân không. Hãy đảm bảo rằng các phụ kiện đóng kín có thể chịu được sự giãn nở nhiệt, để tránh tình trạng rò rỉ khí.
Cách lắp đặt
Chúng tôi sử dụng các đầu nối chuẩn hóa. Bạn chỉ cần lắp chúng vào mà không cần phải điều chỉnh lại toàn bộ hệ thống, điều này giúp tránh nhiều rắc rối. Chúng tôi cũng mài nhẵn bề mặt thạch anh để tránh việc hình thành các điểm nóng, vốn là nguyên nhân khiến bóng đèn hỏng sớm.
Nếu bạn đang sử dụng hệ thống chân không công suất cao, hãy kiểm tra kỹ hệ thống làm mát của mình. Các bóng đèn này tạo ra lượng năng lượng lớn, khiến các đầu dây dễ bị nóng đến mức chảy. Hãy sử dụng các dây dẫn chịu nhiệt tốt để tránh tình trạng ngắn mạch trong hệ thống.