Ngăn chặn tình trạng nhiễm bẩn wafer ngay từ đầu
Hãy thành thật mà nói: việc bóng đèn hồng ngoại bị vỡ trong quy trình sản xuất semiconductor là một tai họa thực sự. Không chỉ có vấn đề về việc bóng đèn ngừng hoạt động, mà khi ống thủy tinh bị vỡ, các mảnh thủy tinh và chất hóa học sẽ rơi xuống bề mặt wafer. Chỉ cần một lần như vậy thôi, toàn bộ sản phẩm đã trở thành rác thải.
Chúng tôi đã dành rất nhiều thời gian để tìm cách ngăn chặn tình trạng này ngay từ đầu.
Giải quyết vấn đề nhiệt độ và áp suất
Hầu hết các trường hợp bóng đèn bị vỡ là do nhiệt độ không được phân bố đều, hoặc áp suất bên trong tăng quá nhanh. Để khắc phục điều này, chúng tôi sử dụng thủy tinh nung chảy có độ tinh khiết cao. Loại thủy tinh này có thể chịu được sự thay đổi nhiệt độ nhanh chóng mà không bị nứt. Chúng tôi cũng dành nhiều thời gian để xác định độ dày của thành ống sao cho phù hợp. Nếu thành ống quá mỏng, nó sẽ vỡ; còn nếu quá dày, sẽ lãng phí năng lượng. Chúng tôi tìm ra điểm cân bằng giữa độ bền của ống và khả năng dẫn nhiệt của nó.
Thêm lớp bảo vệ
Ngay cả với loại thủy tinh tốt nhất, vẫn có thể xảy ra sự cố. Vì vậy, chúng tôi sử dụng lớp vỏ bảo vệ và lớp phủ bảo vệ. Điều này giúp bảo vệ wafer khỏi các mảnh vỡ của bóng đèn. Một mẹo nữa: chúng tôi tránh sử dụng các chất kết dính có thể tỏa khí khi nóng lên. Những khí này có vẻ không nguy hiểm, nhưng chúng sẽ tạo thành lớp màng trên bề mặt silic, gây hư hại cho sản phẩm.
Điều chỉnh công suất đúng cách
Mật độ nhiệt phụ thuộc vào điện áp và công suất của bóng đèn. Chúng tôi sắp xếp các sợi dây tóc trong bóng đèn một cách cẩn thận để tránh tạo ra các điểm nóng. Những điểm nóng này sẽ làm suy yếu thủy tinh theo thời gian, và đó chính là nguyên nhân gây nứt bóng đèn. Bạn cũng cần đảm bảo rằng nguồn điện cung cấp phù hợp với trở kháng của bóng đèn. Nếu điện áp không đúng, bóng đèn sẽ hỏng nhanh hơn. Đó chính là con đường dẫn đến việc bóng đèn bị vỡ.
Cuối cùng, nếu bạn muốn tăng cường mức độ nhiệt, vỏ bảo vệ của bóng đèn sẽ phải chịu áp lực lớn. Hãy đảm bảo rằng hệ thống làm mát của bạn có thể xử lý được sự gia tăng nhiệt độ, nếu không, vỏ bảo vệ sẽ bị biến dạng. Điều này sẽ làm mất thẩm mỹ của bóng đèn.