ในกระบวนการผลิตแผ่นวีเดียร์ การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียงครึ่งองศาในช่วงการอบแผ่นฟอโตรีซิสต์นั้นไม่ใช่เรื่องเล็กๆ เลย มันจะส่งผลให้เกิดปัญหาในขั้นตอนการทดสอบทางไฟฟ้า และยังทำให้เกิดสิ่งสกปรกบนพื้นผิวแผ่นวีเดียร์ ซึ่งต้องมีการแก้ไขซ้ำๆ ดังนั้น การใช้ความร้อนจากอินฟราเรดในการอบแผ่นวีเดียร์จึงต้องทำให้เกิดความร้อนที่สม่ำเสมอทั่วทั้งแผ่นวีเดียร์ โดยไม่ก่อให้เกิดมลพิษ
สิ่งที่สำคัญจริงๆ คืออะไร? เราออกแบบระบบอินฟราเรดสำหรับการอบแผ่นวีเดียร์โดยใช้หลอดไฟอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ซึ่งมีประสิทธิภาพสูงในการให้ความร้อนอย่างรวดเร็ว และสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ สำหรับแผ่นวีเดียร์ขนาด 300 มม. เราสามารถรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1°C และความสม่ำเสมอของผลลัพธ์ระหว่างการผลิตก็อยู่ในระดับไม่กี่มิลลิองศาเท่านั้น นอกจากนี้ ห้องปฏิบัติการยังสามารถใช้งานได้กับห้องที่มีมาตรฐานตั้งแต่ Class 1 ถึง Class 100 โดยใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซน้อย และมีระบบการระบายอากาศที่ช่วยลดปริมาณสิ่งสกปรกได้ การไม่มีสิ่งสกปรกเลยไม่ใช่เพียงแค่สโลแกนเท่านั้น แต่มันขึ้นอยู่กับคุณภาพของพื้นผิว การเลือกวัสดุที่ใช้ในการปิดผนึก และกลยุทธ์การระบายอากาศที่ช่วยไม่ให้สารที่เกิดขึ้นจากการอบแผ่นฟอโตรีซิสต์กลับมาเกาะอีก
สิ่งสำคัญในกระบวนการผลิตแผ่นฟอโตรีซิสต์คือ การอบแผ่นวีเดียร์ในขั้นตอนแรกจะช่วยกำจัดสารละลายที่เหลืออยู่ และลดแรงดึงของฟิล์ม ส่วนการอบในขั้นตอนถัดไปจะช่วยให้ภาพที่ได้พร้อมสำหรับการขัดถู หากอินฟราเรดสามารถให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอ ก็จะช่วยลดเวลาในการผลิตโดยไม่สูญเสียความแม่นยำของกระบวนการ
การควบคุมอุณหภูมิที่ดีจะช่วยลดจำนวนการแก้ไขผลิตภัณฑ์ ทำให้คุณภาพของผลิตภัณฑ์มีความสม่ำเสมอมากขึ้น และลดการสิ้นเปลืองพลังงานไปกับการอบที่ไม่จำเป็น ระบบนี้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยมีช่วงเวลาการบำรุงรักษาที่แน่นอน ดังนั้นจึงลดเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิดได้ และทำให้กระบวนการผลิตมีความสม่ำเสมอ
การใช้ความร้อนจากอินฟราเรดที่มีความแม่นยำสูงนั้น จะต้องคำนึงถึงความแตกต่างของค่าการแผ่รังสีของฟิล์มและวัสดุต่างๆ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องปรับแต่งกำลังของหลอดไฟและระยะเวลาการอบให้เหมาะสมกับแต่ละวัสดุ และต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่ามีความสอดคล้องกับอุปกรณ์อื่นๆ ที่ใช้ในการผลิตด้วย
แน่นอนว่าการปรับแต่งระบบให้มีประสิทธิภาพนั้นต้องใช้เวลา แต่เมื่อทุกอย่างถูกปรับแต่งเรียบร้อยแล้ว กระบวนการผลิตก็จะอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนดไว้ โดยมีการตรวจสอบกำลังของหลอดไฟและอุณหภูมิอย่างสม่ำเสมอ