Прекратите превращать камеру для ополаскивания в «печь»
Большинство инфракрасных нагревателей работают довольно хаотично: они излучают тепло во все стороны – на 360 градусов. В тесной камере для обработки полупроводников это приводит к серьезным проблемам.
Когда тепло распространяется повсюду, внутренние стены аппарата поглощают его. В результате возникают повреждения на корпусе аппарата, а сам аппарат становится слишком горячим для безопасного использования. Это настоящий беспорядок.
Мы решаем эту проблему с помощью направленных инфракрасных ламп.
Как это работает на самом деле
Представьте себе фонарик, который фокусирует свет в одной точке, вместо использования обычной лампочки. Такие лампы используют отражающую поверхность или специальное покрытие, чтобы направлять тепло именно туда, где это необходимо – на объект обработки.
Вместо того чтобы тратить энергию на нагрев воздуха или корпуса аппарата, энергия достигает самого объекта обработки. Таким образом можно добиться нужной температуры на поверхности чипа, не превращая остальную часть аппарата в гигантский радиатор. Это гораздо умнее.
Как справляться с влагой
Камеры для ополаскивания по своей природе являются влажными. А вода в сочетании с высоковольтным теплом обычно приводит к проблемам. Если влага попадает на горячую кварцевую лампу или проникает в ее контакты, лампа может разрушиться. Поэтому мы используем надежные уплотнители в местах соединения, чтобы избежать коротких замыканий и предотвратить окисление нитей лампы. Эти уплотнители способны справляться с высокой влажностью без повреждений.
Недостатки и как с ними справиться
Есть один недостаток: поскольку тепло концентрируется в одной точке, его интенсивность там очень высока. Это защищает стены аппарата, но это также означает, что нельзя просто произвольно расставлять лампы. Если лампа находится слишком близко, на поверхности чипа появятся горячие участки. Необходимо точно регулировать расстояние между лампой и объектом обработки.
Хорошие новости заключаются в том, что эти лампы можно использовать в качестве замены существующих модулей для ополаскивания. Достаточно подключить их к контроллеру PID, чтобы поддерживать постоянную температуру. Таким образом ваш процесс будет происходить без проблем, а ваша команда будет в безопасности. Просто.