Как поддерживать чистоту в помещении класса 100
Если вы управляете помещением класса 100, вы знаете, насколько сложно избежать появления частиц в воздухе. Один-единственный микроскопический кусочек или небольшое количество газов, выделяющихся от нагревательных элементов, может существенно снизить качество производства полупроводников. Это очень раздражает.
Поэтому мы перестали использовать обычные нагреватели и перешли на высокочистые синтетические кварцевые трубки с золотым отражающим покрытием.
Почему важно золото?
Большинство инфракрасных ламп просто излучают тепло во все стороны. Но в случае с полупроводниковыми устройствами это бесполезно – важно только то тепло, которое попадает на пластину. Поэтому мы нанесли тонкий слой золота на заднюю поверхность кварцевой трубки. Он действует как зеркало, направляя всю инфракрасную энергию вперед. Результат? Увеличивается плотность тепла без необходимости повышения мощности. Температура достигается гораздо быстрее. К тому же золото химически инертно – оно не окисляется и не отшелушивается, так что цель сохранения «абсолютной чистоты» остается реальностью.
Что делать с загрязнениями на материалах и теплом?
Мы используем высокочистый кварц, потому что он предотвращает распространение примесей при высоких температурах. Эти лампы созданы для работы в условиях резких температурных изменений без повреждений.
Но есть один нюанс: из-за сильного отражения тепла на передней поверхности трубки температура там очень высока. Убедитесь, что системы охлаждения работают правильно. В противном случае кварц может перегреться.
Установка и эксплуатация
Мы спроектировали эти лампы так, чтобы их можно было легко заменить. Не нужно беспокоиться о попадании частиц внутрь помещения во время установки.
Совет по проводке: обеспечьте стабильное напряжение питания. Скачки напряжения могут разрушить нить нагревателя еще до того, как наступит время ее повреждения.
А если вы заметите снижение мощности лампы? Обычно это происходит из-за загрязнений на поверхности кварца. Используйте специальный раствор для чистки.
Пожалуйста, не используйте абразивные ткани – они повреждают покрытие и создают именно те частицы, которых вы пытаетесь избежать. Лучше использовать мягкие средства для чистки.