Na linii o długości 300 mm kluczowym elementem jest urządzenie do utrzymywania stałej temperatury podczas procesu litografii. Jeśli temperatura w wymienniku ciepła się zmienia, to i profil termiczny ulega zmianie – a efektem jest spadek wydajności produkcji, zanim skaner defektów zdąży zarejestrować jakiekolwiek problemy. Stworzyliśmy specjalny moduł klimatyzacji i ogrzewania, aby zapewnić stabilność warunków termicznych właśnie tam, gdzie to najważniejsze – na samym krzemie.
Co jest istotne? Utrzymujemy stałą temperaturę na poziomie ±0,1°C w całym przepływie powietrza, dzięki czemu płyta do obróbki ma stałe warunki pracy. Urządzenie funkcjonuje w pomieszczeniach o czystości klasy 1–100, bez żadnej generacji cząstek, co potwierdza monitoring cząstek w miejscu ich powstawania. Moduł wykorzystuje materiały o niskiej emisji gazów oraz hermetyczną konstrukcję, dzięki czemu nie dochodzi do zanieczyszczeń podczas procesu obróbki. Moc urządzenia jest dostosowana do pracy 24/7 przy kontrolowanym tempie zmian temperatury. Może być podłączony do istniejących systemów sterowania AHU za pomocą standardowych interfejsów przemysłowych.
Proces wytwarzania fotoopornika nie jest prostym krokiem – to istotna granica wymiarowa. Nawet niewielkie wahania temperatury mogą powodować zmiany w wymiarach elementów i niestabilność krawędzi. Utrzymujemy stałą temperaturę na powierzchni krzemu, dzięki czemu procedura obróbki zachowuje się tak samo w każdej partii produktu. Dzięki temu uzyskujemy lepszą kontrolę nad wymiarami, mniej konieczności przeróbek i przewidywalny bilans termiczny. Efektywność również się poprawia, ponieważ nie marnujemy energii na niepotrzebne korekty.
Podczas instalacji należy zwrócić uwagę na kierunek przepływu powietrza oraz tolerancje ciśnienia statycznego w AHU. Nieodpowiednio skonfigurowane rury mogą powodować mikroturbulencje, które zakłócają jednorodność warunków termicznych. Moduł wymaga również czystego źródła zasilania – wahania napięcia mogą powodować krótkotrwałe zmiany temperatury. Należy zaplanować okno kalibracji zgodnie z procedurami litografii i sprawdzić profil termiczny w odniesieniu do specyfiki używanego fotoopornika.