Na linii produkcyjnej procesu pieczenia, kroki związane z delikatnym i intensywnym podgrzewaniem nie są jedynie kwestią temperatury – to także kwestia tolerancji. Nawet niewielka zmiana temperatury o 1°C może wpłynąć negatywnie na parametry produktu. Dlatego stworzyliśmy moduły podgrzewania na podczerwień z podziałem na strefy, aby uniknąć niepotrzebnego przewidywania parametrów termicznych.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Używamy emitatorów podczerwieni o krótkich falach oraz szybkich sterownikach, dzięki czemu ciepło dociera tam, gdzie chcemy, i w momencie, gdy chcemy. Moduł składa się z niezależnie kontrolowanych stref, co oznacza, że można regulować temperaturę na poziomie poszczególnych elementów płyty krzemowej, a nie średnią temperaturę całej płyty. W praktyce to sprawia, że jednostka powierzchniowa płyty ma jednolitą temperaturę w przedziale ±0,1°C, a parametry pieczenia fotoodpornika pozostają w granicach ±0,5°C za każdym razem. Budowa bez kwarcu oraz użycie materiałów o niskim wydalaniu gazów zapobiega powstawaniu cząstek na powierzchni płyty, co jest niezbędne w warunkach czystej sali produkcyjnej klasy 1–100.
Dlaczego ten system sprawdza się w liniach litograficznych? Nie możemy sobie pozwolić na nieplanowane przerwy w produkcji. Ten moduł podgrzewania na podczerwień pracuje 7 dni w tygodniu, 24 godziny na dobę, bez żadnych przerw. System termiczny jest zaprojektowany tak, by służyć przez długi czas – jego żywotność przekracza 10 000 godzin. Jest prosty w obsłudze, modularny i umożliwia precyzyjną kontrolę na poziomie poszczególnych stref.
Jakie są korzyści? Szybsze osiągnięcie właściwej temperatury, lepsza powtarzalność wyników w różnych partiach produktu, a także mniej zużytych płytek spowodowanych nierównomiernością podgrzewania. Zużycie energii również jest niższe – dzięki sterowaniu według stref unika się nagrzewania całej płyty, gdy tylko kilka miejsc wymaga dostosowania.
Co trzeba uwzględnić przy planowaniu? Instalacja wymaga dedykowanego obwodu zasilania oraz czystego, chłodnego przepływu powietrza, aby temperatura emitatora była stabilna. Moduł może być łatwo połączony z istniejącymi urządzeniami do pieczenia, ale pełne korzyści uzyskuje się, gdy używa się go w połączeniu z strategią sterowania, która uwzględnia efekty na krawędziach płyty.
Jedną z ograniczeń jest to, że liczba stref jest ustalona na każdym etapie procesu. Dlatego należy wcześniej przyporządkować strefy do rozmiarów płyty i potrzeb dotyczących kontroli krawędzi.