Op de 300mm-lijn ziet de oven er stabiel uit, maar het profiel van de fotoresist verandert nog steeds na een zachte bakbeurt. Hierdoor ontstaan...

Op de productievloer is het uitharden van polyimide niet zomaar een thermische stap. Het is een dimensionele belofte. Als je de temperatuur slechts...

Op de lithografievloer leer je snel dat een zachte bak die een halve graad afwijkt het CD-budget beïnvloedt, en een harde bak die niet uniform over...