Op de 300mm-lijn ziet de oven er stabiel uit, maar het profiel van de fotoresist verandert nog steeds na een zachte bakbeurt. Hierdoor ontstaan afwijkingen in de dikte van de lijnen tijdens het etchen. De oorzaak ligt meestal bij de drooglamp: de onderdelen verslechteren na verloop van tijd, de uitstoot varieert en er zijn warmtepunten die de controller niet kan compenseren.
Wat echt belangrijk is: De lamp in de DNS-screenwaardroger gebruikt kortegolflengte-infrarode emissies in een kwartzuurbuis. Hierdoor wordt er snel en efficiënt gehecht, met een consistentie van ±0,1°C op het niveau van de wafer. De uitstoot van de lamp blijft constant, zelfs na duizenden bakbeurten. Hierdoor kan de zachte bakbeurt nauwkeurig worden uitgevoerd volgens de vereisten, en blijft het profiel van de harde bakbeurt binnen de gewenste grenzen.
Deze lamp is bedoeld voor schone ruimtes van klasse 1–100. Het hele systeem is zo ontworpen dat er geen deeltjes worden gegenereerd. De oppervlakken en onderdelen zijn zodanig gekozen dat er geen vuil op kan komen te zitten. De uitstoot blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% afwijking in intensiteit. Dit betekent minder herwerkzaamheden en minder vervangingen van onderdelen.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie: Zowel de zachte als de harde bakbeurt bepalen de samenstelling van de fotoresist, de hechting en de precisie. Wanneer de thermische cyclus elke keer op dezelfde manier wordt uitgevoerd, wordt de hoeveelheid afval verminderd. Meer consistentie betekent minder herwerkzaamheden na het etchen, een hogere opbrengst en snellere overgangen tussen verschillende processen.
De snelle thermische reactie zorgt er ook voor dat er minder energie nodig is per bakbeurt. Bovendien zorgt de lange levensduur van de lamp voor minder onverwachte stilstandtijden.
Wat je van tevoren moet regelen: Voor de installatie moet de lamp worden aangepast aan de specifieke afmetingen van de droogkamer en de optische route. Eerst wordt gecontroleerd wat voor type connector, spanning en koelingssysteem nodig is. De lamp moet zich binnen de gestelde omstandigheden bevinden; anders neemt de levensduur van de lamp af. Ook is het belangrijk om regelmatig de positie van de lamp en de reinheid van de reflectoren te controleren. Anders kan de gewenste consistentie niet worden behouden.