Voorkom vervuiling van de wafers al voordat het gebeurt
Laten we eerlijk zijn: een kapotte infraroodlamp in een semi-conductorenfabriek is een echte nachtmerrie.
Het gaat niet alleen om het feit dat de heater stopt met werken. Wanneer die kwartsklep barst, vallen er glasdeeltjes en chemische stoffen op het oppervlak van de wafers. Eén barst en je hele batch is nutteloos.
We hebben veel tijd besteed aan het bedenken van manieren om dit te voorkomen.
Omgaan met hitte en druk
Meestal barsten deze lampen omdat de hitte niet gelijkmatig wordt verspreid, of omdat de interne druk te snel stijgt.
Om dit op te lossen, gebruiken we hoogzuiver gefuseerd kwarts. Dit materiaal kan grote temperatuurschommelingen doorstaan zonder te breken. We besteden ook veel tijd aan het bepalen van de juiste dikte van de wanden van de lampen.
Het is een kwestie van balans: te dun? Dan barst de lamp. Te dik? Dan verspil je energie. We zoeken naar het optimale punt waarbij de lamp sterk genoeg is, maar toch de hitte doorlaat.
Een veiligheidsnetwerk toevoegen
Zelfs met het beste kwarts kunnen er nog problemen optreden. Daarom voegen we beschermende hulzen en coatings toe.
Denk erom: dit fungeert als een soort beschermingslaag. Als de lamp toch breekt, vangt de huls de brokstukken op, zodat ze het oppervlak van de wafers niet raken.
En hier is nog een tip: vermijd kleefmiddelen die bij hoge temperaturen gasen afgeven. Die gassen lijken misschien onschadelijk, maar ze blijven een laagje op het silicium achter, waardoor alles beschadigd kan raken.
De juiste stroomsterkte kiezen
De hittedichtheid hangt af van de spanning en de hoeveelheid energie die wordt gebruikt.
We plaatsen de filamenten zorgvuldig, zodat er geen ‘ hete punten’ ontstaan. Die punten verzwakken de kwartsklep na verloop van tijd, waardoor er uiteindelijk een barst ontstaat.
Je moet er ook voor zorgen dat de stroomvoorziening overeenkomt met de impedantie van de lamp. Als de spanning niet correct is, slijt de lamp sneller. Dat leidt tot een kapotte lamp.
Nog één ding: als je maximale hitte wilt bereiken, zal dit invloed hebben op de behuizing van de lamp. Zorg ervoor dat je koelsysteem de stijging van de temperatuur aankan. Anders krijg je een verbogen behuizing. Dat ziet er niet goed uit.