Waarom we goud gebruiken in onze hitteverwarmers voor het vervoer van wafers
Als je wafers van de ene naar de andere plek in een schone ruimte wilt brengen, is temperatuur van cruciaal belang. Als het te koud wordt of als de temperatuur te veel schommelt, kan dat leiden tot contaminatie of thermische schokken. Dat is zeker geen goede manier om de dag te beginnen.
Om dit te voorkomen, gebruiken we reflectoren die zijn bedekt met goud. Het klinkt misschien luxueus, maar het gaat eigenlijk slechts om efficiëntie. We willen dat de warmte rechtstreeks op de wafer terechtkomt, en niet in het chassis van de trein.
Het verschil tussen goud en aluminium
De meeste mensen denken aan aluminium voor reflectoren, maar aluminium neemt juist een groot deel van de infrarode energie op. Goud is anders: het is uitstekend in staat om langgolvige infrarode straling terug te kaatsen naar waar deze thuishoort.
Het gaat hier niet om het maken van duurdere apparaten. Het gaat om fotonen. Door hoogzuiver goud op de reflector aan te brengen, kunnen we de hitte precies waar we hem hebben nodig richten. Elke watt die we gebruiken, doet echt zijn werk.
Het vinden van het optimale niveau
Je zou denken: “Waarom verhogen we dan niet gewoon de vermogenssterkte?” Ja, dan wordt het sneller warm. Maar dat legt veel druk op de stroomvoorziening. Bovendien kan te veel hitte in een klein gebied leiden tot hete punten op de wafer, wat problemen geeft voor de consistentie.
We besteden veel tijd aan het afstemmen van de vorm van de reflector en de dikte van de laag goud. Het doel is om de warmte gelijkmatig over de hele wafer te verdelen. Geen verrassingen.
Een paar woorden over onderhoud
Het goede nieuws is dat goud chemisch stabiel is. In een schone ruimte is dat een groot voordeel, want je hoeft je geen zorgen te maken over uitstoot van giftige stoffen.
Maar er is één nadeel: goud is zacht. Als het onderhoudsteam met schurende schuimstoffen werkt, zal de laag goud worden weggesleten. Zodra het goud verdwenen is, neemt de thermische efficiëntie drastisch af. Deze hitteverwarmers zijn ontworpen voor precisiewerk, niet voor ruw onderhoud. Gebruik alleen de goedgekeurde oplosmiddelen om ze schoon te houden, dan blijven ze precies zoals ze moeten werken.