もうオーブンを待つのはやめましょう：なぜオゾンフリーの赤外線が最適なのか
半導体加工に携わっている方なら、待つことの苦痛がよくわかるでしょう。特に、チャンバーが温まるのを待つ時間です。
ほとんどの装置は強制送風方式を採用しており、これは単に熱い空気を周囲に送り込むだけです。問題は、ワークピースが温まる前に、そのチャンバー内のすべての空気を温めなければならない点です。これは非常に時間がかかり、面倒であり、生産性を低下させます。
一方、赤外線を利用すると、空気を介さずにエネルギーを直接基板に送り届けることができます。これにより、処理速度が大幅に向上します。
本当に重要な場所に熱を届ける
空気の循環は常に遅く感じられます。不均一な温度分布や無駄な時間が発生します。私たちはオゾンフリーの赤外線ランプを使って、その手間を省きます。
材料が吸収しやすい波長を選ぶことで、瞬時に温まります。ブロワーが部屋の温度を安定させるのを待つ必要はありません。部品を流れ作業で処理し続けるだけです。
「オゾン」の問題（そしてその解決策）
標準的な短波長赤外線には、オゾンが発生するという問題があります。これは真空紫外線によって引き起こされます。
クリーンルームではオゾンは大敵です。オゾンはシール部分を破壊し、表面を損傷させます。誰もそれを望みません。
私たちのランプは、特殊な石英製のケースとフィルターを使用して、そのVUV波長を遮断します。そうすることで、強力な熱を得ながらも、化学的な汚染物質は発生しません。プロセスが清潔に保たれ、機器の寿命も延びます。
実際のトレードオフ
すべての状況に最適だとは言えません。赤外線は指向性があります。
対流式オーブンが部品を布団のように包むのとは異なり、赤外線は「見える範囲」にのみ作用します。もし部品の形状が複雑だったり、深い部分があったりすると、寒い部分ができてしまうことがあります。
そのため、ランプの配置や反射板の角度には十分な注意が必要です。すべての部分が均等に加熱されるようにしなければなりません。
また、冷却システムにも注意が必要です。赤外線はごく小さな空間に大量のエネルギーを集中させます。冷却システムが十分でなければ、部品が壊れてしまいます。必ず、使用する機器がその負荷に耐えられるものかを確認してください。