Mantenere la sicurezza quando si riscaldano i wafer con radiazioni infrarosse
Siamo onesti: combinare lampade a infrarossi ad alta temperatura con solventi infiammabili è davvero una scelta pericolosa. Durante la fase di pulizia chimica dei wafer, l’ultima cosa che si vuole è avere una fonte di ignizione proprio accanto a vapori esplosivi.
Abbiamo trovato un modo migliore per affrontare questo problema. Invece di utilizzare lampade con elementi termici esposti, le avvolgiamo in involucri speciali.
Trovare il “punto ottimale”
C’è bisogno di trovare un equilibrio nella posizione delle lampade. Se vengono montate troppo vicino ai wafer, si creano dei “punti caldi” sui wafer stessi. Non è certo una cosa positiva. Ma se vengono montate troppo lontano, si perde efficienza termica e i tempi di lavorazione aumentano.
Per risolvere questo problema, inseriamo gli elementi termici all’interno di involucri sigillati realizzati in zaffiro o quarzo resistente alle sostanze chimiche. Si tratta di una sorta di “scudo fisico” che protegge gli elementi termici dall’aria circostante. In questo modo, anche in caso di perdite di sostanze chimiche, la lampada non potrà causare incendi.
Mantenere la stabilità
La stabilità è fondamentale. Utilizziamo quarzo rivestito o strutture a doppia parete, perché gli shock termici possono distruggere facilmente le lampade. Quando i fluidi di pulizia cambiano temperatura, una lampada economica potrebbe semplicemente rompersi. Inoltre, lo strato di protezione impedisce l’ingresso di umidità e gas corrosivi. Di solito è proprio qui che le lampade si guastano: gli elettrodi vengono consumati dal tempo. Questo design evita che ciò accada.
Il compromesso
C’è però un piccolo problema: grazie a questo involucro protettivo, si perde un po’ del calore generato dalla lampada. Non molto, ma comunque l’involucro assorbe una parte dell’energia prima che raggiunga i wafer. È necessario quindi regolare l’alimentazione elettrica per compensare questa perdita, se si vuole mantenere le velocità di riscaldamento desiderate.
Un’ultima cosa: non dimenticate il sistema di ventilazione. Anche con queste lampade sigillate, è ancora necessario che il sistema di aspirazione funzioni correttamente per mantenere i livelli di solventi al di sotto del limite di esplosività. La sicurezza viene sempre prima di tutto.