Modul pemanas dan pendingin udara Fab
Pada jalur produksi berukuran 300 mm, bagian yang paling penting adalah unit litografi tersebut. Jika suhu pemanas AHU berubah, maka profil pemanasan...
Modul pemanas inframerah berzonasi
Di fasilitas produksi, proses pemanasan jenis “soft bake” dan “hard bake” bukan sekadar proses penentuan suhu saja—melainkan juga proses penentuan...