Mengurangi Emisi Karbon dalam Proses Pengolahan Wafer (Tanpa Menguras Energi yang Berlebihan)
Setiap pabrik semikonduktor saat ini sedang berusaha keras untuk mencapai tujuan emisi nol. Namun, jika kita melihat di mana energi tersebut hilang, ternyata sebagian besar energi tersebut terbuang sia-sia akibat proses pemanasan dan pengeringan wafer.
Cara lama, yaitu menggunakan oven konveksi besar, sebenarnya sama saja dengan mencoba memanaskan satu butir kacang dengan memanaskan seluruh ruangan. Ini merupakan pemborosan energi yang sangat besar. Kami telah menemukan cara yang lebih baik, yaitu dengan menggunakan sensor IR yang presisi serta sistem pemanas yang hanya memanaskan wafer itu sendiri, bukan seluruh ruangan.
Hentikan Pemanasan Dinding Ruangan
Masalahnya adalah, jika proses pemanasan tidak merata, maka bagian-bagian tertentu dari wafer akan rusak. Itu merupakan pemborosan waktu dan uang. Kami menggunakan lampu IR berfrekuensi rendah bersama dengan piranti pengukur suhu yang cepat, sehingga sistem dapat bekerja secara efektif. Alih-alih memanaskan seluruh ruangan, sistem ini hanya memanaskan panjang gelombang tertentu yang diserap oleh silikon.
Hasilnya? Energi yang digunakan untuk memanaskan dinding ruangan berkurang. Proses pemanasan menjadi lebih cepat, konsumsi energi per wafer berkurang, dan tagihan listrik pun menurun. Ini merupakan hal yang masuk akal.
Kecepatan dan Kontrol
Sensor-sensor ini dirancang untuk bereaksi dalam hitungan milidetik. Jika ada titik panas di permukaan wafer, sistem akan segera mengurangi intensitas sinar IR. Ini jauh lebih baik dibandingkan heater resistif lama yang seringkali “melebihi” suhu yang diinginkan, sehingga membahayakan produk yang dihasilkan.
Selain itu, elemen-elemen pemanas tersebut dilapisi dengan kuarsa. Hal ini membantu mencegah kotoran masuk ke permukaan pemanas, sehingga prosesnya tetap bersih.
Masalahnya: Energi dan Pendinginan
Ada trade-off yang perlu diperhatikan. Array IR berkepadatan tinggi memang dapat memindahkan panas dengan cepat, tetapi juga menghasilkan banyak energi radiasi yang masuk ke struktur alat tersebut. Anda tidak bisa begitu saja memasangnya ke dalam chasis lama. Jika sistem pendinginan tidak cukup kuat untuk menangani beban tambahan yang dihasilkan oleh lampu tersebut, maka komponen kontrol elektroniknya akan rusak. Anda perlu memastikan sistem pendinginan berfungsi dengan baik terlebih dahulu.
Apa Artinya Ini Bagi Pabrik?
Dengan menggunakan teknologi IR yang presisi, luas area pemanasan menjadi lebih kecil. Anda tidak perlu lagi menggunakan ruangan yang besar dan lambat dalam proses pemanasan. Sebaliknya, Anda bisa menggunakan array pemanas yang kompak dan siap digunakan seketika. Dengan demikian, konsep “Pabrik Hijau” bukan lagi sekadar slogan, melainkan kenyataan yang nyata. Anda dapat mengurangi konsumsi energi yang diperlukan untuk menjalankan proses produksi, sehingga biaya produksi chip pun berkurang.