300 मिमी व्यास वाली लाइनों पर, लिथोग्राफी प्रक्रिया ही सबसे महत्वपूर्ण है। यदि AHU हीटर में कोई त्रुटि हो जाए, तो बेकिंग प्रक्रिया भी प्रभावित हो जाती है… और ऐसी स्थिति में दोषों का पता चलने से बहुत पहले ही उत्पादन में कमी आ जाती है। हमने अपने फैब एयर कंडीशनिंग हीटर मॉड्यूल को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि वेफर पर थर्मल फील्ड स्थिर रहे।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम सप्लाई एयर स्ट्रीम में ±0.1°C की थर्मल यूनिफॉर्मिटी बनाए रखते हैं; ताकि बेकिंग प्रक्रिया में स्थिर परिस्थितियाँ बनी रहें। यह मॉड्यूल क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही काम करता है… एवं इसमें कोई कण उत्पन्न नहीं होता। हीटर में कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है… ताकि सॉफ्ट/हार्ड बेकिंग प्रक्रिया में कोई संदूषण न हो। इसकी क्षमता 24/7 कार्य हेतु पर्याप्त है… एवं यह मानक औद्योगिक इंटरफ़ेसों के माध्यम से ही AHU नियंत्रण प्रणाली से जुड़ता है।
फोटोरेजिस्ट बेकिंग – एक संवेदनशील प्रक्रिया
फोटोरेजिस्ट बेकिंग कोई साधारण प्रक्रिया नहीं है… यह एक बहुत ही संवेदनशील प्रक्रिया है। थोड़ा सा तापमान परिवर्तन भी उत्पाद की गुणवत्ता पर प्रभाव डालता है। हम वेफर के सतह पर तापमान को स्थिर रखते हैं… ताकि हर बार बेकिंग प्रक्रिया समान ही हो। इससे उत्पाद की गुणवत्ता में सुधार होता है… एवं ऊर्जा की बर्बादी भी कम होती है।
इंस्टॉलेशन संबंधी बातें
इंस्टॉलेशन के दौरान एयरफ्लो दिशा एवं AHU के स्टैटिक प्रेशर का ध्यान रखना आवश्यक है… क्योंकि असंतुलित डक्टिंग से माइक्रो-टर्बुलेंस पैदा हो जाती है… जिससे थर्मल यूनिफॉर्मिटी प्रभावित हो जाती है। इस मॉड्यूल को स्वच्छ विद्युत आपूर्ति भी आवश्यक है… क्योंकि वोल्टेज में होने वाले परिवर्तन से तापमान में अस्थिरता आ जाती है। इंस्टॉलेशन के दौरान लिथोग्राफी प्रक्रियाओं को ध्यान में रखना आवश्यक है… एवं उत्पाद की गुणवत्ता की जाँच भी आवश्यक है।