LCD पैनल फैब फ्लोर पर
LCD पैनल फैब फ्लोर पर, थर्मल ड्रिफ्ट खुद को नहीं बताता—यह बस चुपचाप यील्ड को कम कर देता है। यदि फोटोरेसिस्ट सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान तापमान थोड़ा भी गलत हो जाता है, तो आप ऐसे आयामी त्रुटियों की स्थापना कर रहे हैं जो लिथोग्राफी, एचिंग, और डिपोजिशन के माध्यम से चलती हैं। हमने अपने इन्फ्रारेड हीटरों को उस ड्रिफ्ट को स्रोत पर समाप्त करने के लिए डिज़ाइन किया है।
जो अंदर महत्वपूर्ण है हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड का उपयोग करते हैं, इसलिए प्रतिक्रिया तेज है और थर्मल यूनिफॉर्मिटी तंग है। यही आपको बड़े सब्सट्रेट्स के बीच पुनरावृत्त बेक प्रोफाइल देता है। नियंत्रण क्लोज़-लूप है, और सेटपॉइंट्स तंग सहिष्णुता के भीतर रहते हैं ताकि थर्मल बजट मानक में बना रहे। हीटर साफ रहते हैं—कोई आउटगैसिंग नहीं, तापमान बढ़ने पर कोई कण विस्फोट नहीं—इसलिए वे क्लास 1–100 पर्यावरण में बिना कण गिनती को बढ़ाए फिट होते हैं। निर्माण क्वार्ट्ज-आधारित है, लंबी उम्र के लिए बनाया गया है, और स्थिर आउटपुट रखता है जो हजारों घंटों तक बना रहता है। कनेक्शन सरल है: मानक इलेक्ट्रिकल फीड और साफ मैकेनिकल माउंट्स जो मौजूदा प्रोसेस चैंबर्स में गिरते हैं।
यह LCD फैब में क्यों अच्छा काम करता है पैनल निर्माण में, आपको वह गर्मी चाहिए जहाँ आपको इसकी आवश्यकता है, जब आपको इसकी आवश्यकता है, बिना किसी अंतराल या हॉट स्पॉट के। हमारे इन्फ्रारेड हीटर सब्सट्रेट को तेजी से तापमान पर लाते हैं, फिर स्थिर रहते हैं, ताकि सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक लगातार चलते रहें। यह स्थिरता फोटोरेसिस्ट दोषों को कम करती है, ओवरले सटीकता में सुधार करती है, और स्क्रैप को कम करती है। यह अपटाइम में भी मदद करता है: यूनिट निर्धारित समय पर शुरू होती है, गर्म होती है, और बसती है, इसलिए लाइन चलती रहती है। ऊर्जा उपयोग भी अनुशासित रहता है, क्योंकि हीटर सब्सट्रेट को सीधे लक्षित करता है न कि पूरे चेंबर को गर्म करता है।
व्यवहारिक विवरण जिनकी आपको योजना बनानी होगी स्थापना के लिए सब्सट्रेट की स्पष्ट दृष्टि की आवश्यकता होती है और पास के उपकरणों से उचित थर्मल आइसोलेशन, अन्यथा आप नियंत्रण लूप में क्रॉस-टॉक का जोखिम उठाते हैं। कमीशनिंग छोटी है—आपके स्टैक और साइकिल टाइम्स के लिए प्रोफ़ाइल को ट्यून करने के लिए बस इतना समय। यदि आप तापमान सीमा के ऊपरी छोर के करीब चलते हैं, तो उत्सर्जक पर थर्मल तनाव बढ़ता है; सुनिश्चित करें कि आपके ड्यूटी साइकिल के आधार पर निवारक प्रतिस्थापन अंतराल सेट करें ताकि प्रदर्शन पूर्वानुमेय बना रहे।