Pourquoi utilisons-nous de l’or dans nos chauffeurs de transport de wafer ?
Lorsque l’on transporte des wafer dans une salle propre, la température est cruciale. Si elle devient trop basse ou varie trop, cela peut entraîner des problèmes de contamination ou de choc thermique. Ce n’est certainement pas le meilleur moyen de commencer la journée.
Pour éviter cela, nous utilisons des réflecteurs recouverts d’or. Cela peut sembler luxueux, mais en réalité, il s’agit simplement d’une question d’efficacité. Nous voulons que la chaleur atteigne bien le wafer, et non qu’elle se dissipe dans la structure du chariot qui transporte le wafer.
L’or et la chaleur
La plupart des gens pensent à l’aluminium comme matériau idéal pour les réflecteurs. Mais en réalité, l’aluminium absorbe une grande partie de l’énergie infrarouge. L’or, lui, est beaucoup plus efficace : il reflète parfaitement les rayons infrarouges à longue longueur d’onde vers leur destination initiale.
Il ne s’agit pas de rendre l’équipement plus cher, mais plutôt de permettre aux photons de transporter correctement la chaleur. En utilisant de l’or de haute pureté sur les réflecteurs, nous pouvons diriger le flux de chaleur exactement là où il est nécessaire. Chaque watt consommé sert donc à quelque chose.
Trouver le bon équilibre
Vous pourriez penser : « Pourquoi ne pas simplement augmenter la puissance ? » Certes, cela permettrait de chauffer plus rapidement. Mais cela mettrait beaucoup de pression sur le système d’alimentation en électricité. De plus, si trop de chaleur est concentrée dans un espace restreint, cela provoquera des points chauds sur le wafer, ce qui est problématique pour garantir une qualité constante.
Nous passons beaucoup de temps à ajuster la forme du réflecteur et l’épaisseur du revêtement en or. L’objectif est de garantir une distribution uniforme de la chaleur sur tout le wafer. Aucune surprise possible.
Quelques mots sur l’entretien
La bonne nouvelle, c’est que l’or est chimiquement stable. Dans une salle propre, c’est un vrai atout, car on n’a pas à s’inquiéter des dégazages. Mais attention : l’or est mou. Si l’équipe d’entretien utilise des chiffons abrasifs, le revêtement en or sera endommagé. Une fois que l’or disparaît, l’efficacité thermique de l’appareil diminue considérablement. Ces chauffeurs sont conçus pour fonctionner avec précision, et non pour être nettoyés de manière brutale. Il suffit d’utiliser des solvants appropriés pour les maintenir propres, afin qu’ils continuent de fonctionner correctement.