Comment maintenir vos chambres à vide propres
Lorsque vous travaillez dans une salle propre de classe 100, le moindre erreur peut avoir des conséquences désastreuses. Un simple grain de poussière ou une petite quantité de gaz chimique qui s’échappe pendant un cycle de chauffage suffit pour ruiner votre wafer.
La plupart des éléments chauffants standards ne sont pas conçus pour fonctionner dans de telles conditions. Ils libèrent des impuretés ou s’oxydent, ce qui signifie qu’ils répandent des contaminants directement sur votre substrat. C’est pourquoi nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté pour nos lampes infrarouges à vide. Ce matériau reste propre, quel que soit le niveau de chaleur.
Le problème lié aux émissions de gaz
Nous utilisons du quartz de silice fusionnée, car il ne subit aucune altération lorsqu’il est soumis à de hautes températures. Contrairement au verre ordinaire, il ne se dégrade pas et ne libère pas ces composés organiques volatils (COVs) dans la chambre.
Dans un environnement à vide, un petit grain de poussière n’est pas simplement de la poussière : c’est un défaut. En éliminant les impuretés présentes dans le quartz, nous évitons d’ajouter accidentellement du carbone ou du métal dans votre processus de fabrication.
Puissance et chaleur
Comme les rayonnements infrarouges n’ont besoin d’aucun milieu pour se déplacer, ils sont idéaux pour être utilisés dans des conditions de vide. Nous avons conçu ces lampes pour qu’elles offrent une forte densité de puissance, ce qui permet d’augmenter rapidement la température. L’énergie est directement transmise au matériau à traiter, ce qui est avantageux, car cela évite que les parois de la chambre ne absorbent toute cette chaleur inutile.
Cependant, attention : les tubes à haute puissance vous font gagner du temps, mais ils sollicitent beaucoup les joints de fermeture du système sous vide. Assurez-vous que vos joints peuvent supporter l’expansion thermique pour éviter toute fuite.
Installation des lampes
Nous utilisons des connecteurs standardisés. Vous pouvez donc installer ces lampes sans avoir à refaire tout le câblage, ce qui évite beaucoup de problèmes. De plus, nous polissons le quartz de manière à éviter la formation de points chauds, qui sont souvent la cause prématurée de la destruction des lampes.
Si vous utilisez un système à vide élevé, vérifiez bien votre système de refroidissement. Ces lampes génèrent une grande quantité d’énergie, ce qui peut faire chauffer les extrémités des fils électriques au point de les faire fondre. Utilisez donc des fils résistants à haute température pour éviter les courts-circuits.