Arrêter la contamination des wafers avant même qu’elle ne commence
Soyez honnêtes : une lampe infrarouge qui cesse de fonctionner dans une ligne de production de semi-conducteurs à forte charge est vraiment un cauchemar. Ce n’est pas seulement le fait que le chauffage cesse de fonctionner ; lorsque le tube en quartz se brise, des éclats de verre et des substances chimiques se répandent sur toute la surface du wafer. En un instant, toute la série de wafers devient irrécupérable.
Nous avons passé beaucoup de temps à trouver des moyens d’éviter que cela ne se produise.
Gérer la chaleur et la pression
La plupart du temps, ces lampes se brisent parce que la chaleur n’est pas distribuée uniformément, ou parce que la pression interne augmente trop rapidement. Pour résoudre ce problème, nous utilisons du quartz fusionné de haute pureté. Ce matériau permet de supporter des cycles de chauffage et de refroidissement rapides sans se briser sous la pression. Nous accordons également beaucoup d’attention à l’épaisseur des parois du tube. Il s’agit d’un équilibre délicat : si les parois sont trop fines, le tube se brise ; si elles sont trop épaisses, on gaspille de l’énergie. Nous cherchons donc le bon équilibre entre robustesse et perméabilité à la chaleur.
Ajouter une protection supplémentaire
Même avec le meilleur quartz, des problèmes peuvent survenir. C’est pourquoi nous ajoutons des protections et des revêtements. Cela agit comme un bouclier pour empêcher les débris de toucher le wafer en cas de rupture de la lampe. Un conseil : évitez les adhésifs qui libèrent des gaz lorsqu’ils chauffent. Ces gaz peuvent sembler inoffensifs, mais ils laissent une couche sur le silicium, ce qui ruine tout.
Ajuster correctement la puissance
La densité de chaleur dépend de la tension et du wattage. Nous positionnons soigneusement les filaments afin d’éviter les zones de surchauffe. Ces zones affaiblissent progressivement le quartz, ce qui est généralement là que commencent les fissures. Il faut également s’assurer que l’alimentation électrique correspond bien à l’impédance de la lampe. Si la tension n’est pas adaptée, la lampe se détériore plus rapidement. C’est un chemin direct vers sa rupture.
Un dernier point : si vous cherchez à obtenir la chaleur maximale, le boîtier de la lampe va en subir les conséquences. Assurez-vous que votre système de refroidissement puisse gérer cette augmentation de température, sinon le boîtier de la lampe va se déformer. Ce n’est pas très agréable à voir.