Verhindern Sie Bruchstellen: Schützen Sie Ihre Wafer vor Schäden durch den Heizer
In einer Fabrik mit hohem Produktionsvolumen ist ein defekter Infrarotstrahler ein echtes Problem. Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten oder die lästige Reinigung – es gibt noch weitere Folgen. Wenn eine Quarzröhre über einer Siliziumwafer zerbricht, fallen Glasscherben sowie Halogengas auf die Wafer. Ein einziger Defekt kann dazu führen, dass ganze Chargen von Wafern unbrauchbar werden. Deshalb haben wir unsere Heizelemente so konstruiert, dass sie solche Probleme schon im Vorfeld verhindern.
Umgang mit der Hitze
Die meisten Lampen versagen aufgrund von Hotspots oder durch die ständigen Belastungen beim Erhitzen und Abkühlen. Um diesem Problem entgegenzuwirken, verwenden wir hochreinen, dicken Quarz. Dieser kann die Belastungen durch hohe Leistungen ausgleichen, ohne zu brechen.
Aber wir sind nicht dort stehen geblieben. Wir haben außerdem einen schützenden Überzug hinzugefügt. Stellen Sie sich das wie eine Art Versicherung vor: Falls das Hauptheizelement versagt, fängt der Überzug die Scherben auf. So bleibt das Glas dort, wo es hingehört – innerhalb des Heizers – und nicht auf den Wafern.
Das Problem mit den Anschlüssen
Etwas, was oft übersehen wird, sind die Anschlüsse. Stromstöße an den Enden der Röhre können zu ernsthaften Schäden führen. Wenn die Anschlüsse locker sind, entstehen starke Temperaturunterschiede, die den Quarz belasten und letztendlich zum Bruch führen können.
Wir verwenden präzise gefertigte Elektroden sowie sichere Verbindungen, damit alles fest sitzt. Doch Vorsicht: Versuchen Sie nicht, die Leistung des Heizers zu erhöhen. Wenn Sie die Leistung über das Limit hinaus erhöhen, können die Dichtungen beschädigt werden. Stellen Sie einfach die Stromversorgung auf die entsprechende Widerstandswert der Lampe ein – dann funktioniert alles problemlos.
Der faire Kompromiss
Man braucht zwar eine hohe Hitze, um die Aufwärmzeiten zu verkürzen. Doch das setzt eine enorme Belastung für die Hardware voraus.
Unser Schutzsystem macht den Arbeitsplatz sicherer – doch es hat auch einen Nachteil: Der Überzug nimmt etwas vom Infrarotstrahlungsanteil auf. Dadurch kann es zu einem leichten Temperaturabfall kommen. Das lässt sich jedoch leicht beheben: Verlängern Sie einfach die Aufenthaltszeit der Wafer im Heizer um ein paar Sekunden. So haben Sie die besten Vorteile – Geschwindigkeit und Sicherheit.