Warum wir Gold in unseren Heizungen zum Transport der Wafer verwenden
Beim Transport von Wafern in einer Reinraumumgebung ist die Temperatur von entscheidender Bedeutung. Wenn es zu kalt wird oder die Temperatur stark schwankt, kann das zu Kontaminationen oder thermischen Schocks führen – das ist sicherlich kein guter Start in den Tag.
Um das zu verhindern, verwenden wir reflektierende Oberflächen, die mit Gold beschichtet sind. Das klingt zwar luxuriös, aber eigentlich geht es dabei nur um Effizienz. Wir möchten, dass die Wärme direkt auf die Wafer trifft – und nicht in das Chassis des Transportsystems verschwindet.
Gold und Wärme
Die meisten Menschen denken bei Reflektoren an Aluminium. Doch Aluminium schluckt einen erheblichen Teil der Infrarotenergie. Gold hingegen ist anders: Es ist hervorragend darin, langwelliges Infrarotlicht genau dorthin zurückzuschicken, wo es hingehört.
Es geht dabei nicht darum, die Ausrüstung teuer aussehen zu lassen – sondern darum, die Photonen gezielt zu lenken. Durch die Beschichtung mit hochreinem Gold können wir den Wärmefluss genau dorthin lenken, wo er benötigt wird. Jeder Watt, den man ausgibt, erfüllt tatsächlich seine Funktion.
Die optimale Lösung
Man könnte jetzt fragen: „Warum nicht einfach die Leistung erhöhen?“ Natürlich wird dadurch schneller erhitzt. Doch das setzt viel Belastung auf die Stromversorgung. Zudem entstehen bei zu hoher Hitze Hotspots auf den Wafern – was wiederum die Qualität beeinträchtigt.
Wir investieren viel Zeit in die Anpassung der Kurve des Reflektors sowie der Dicke der Beschichtung. Das Ziel ist eine gleichmäßige Verteilung der Wärme auf der gesamten Waferfläche – ohne Überraschungen.
Ein Wort zur Wartung
Die gute Nachricht ist: Gold ist chemisch stabil. In einer Reinraumumgebung ist das ein großer Vorteil – man muss sich keine Sorgen wegen Ausgasungen machen.
Doch es gibt auch einen Nachteil: Gold ist weich. Wenn das Wartungsteam abrasive Reinigungsmittel verwendet, wird die Beschichtung zerstört. Sobald das Gold weg ist, sinkt die thermische Effizienz der Heizgeräte. Diese Heizgeräte sind für Präzision konzipiert – nicht für grobe Reinigungsverfahren. Verwenden Sie einfach die zugelassenen Lösungsmittel, um die Geräte sauber zu halten – dann funktionieren sie weiterhin einwandfrei.