http://cozy-patio-ir.com/zh/tags/%E7%B2%BE%E5%BA%A6/ Recent content in 精度 on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo zh Thu, 02 Jul 2026 02:28:29 +0800 http://cozy-patio-ir.com/zh/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Thu, 02 Jul 2026 02:28:29 +0800 http://cozy-patio-ir.com/zh/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="用于晶圆红外处理的高精度加热装置"></p> <p>在光刻工艺中，光阻烘烤过程中哪怕只有半度的温度偏差，也绝非可以忽视的小问题。这种偏差会导致电气测试时的合格率下降，同时还会产生大量杂质，需要通过返工来解决。因此，晶圆的红外线加热系统不仅要能够达到设定温度，还必须确保整个晶圆上的温度保持稳定且可重复，同时避免产生任何污染。</p>