用于半导体加热器的热电偶

Fri, 10 Jul 2026 01:20:08 +0800

停止浪费热量

在加热晶圆时，增加功率并不是解决问题的办法。关键不在于拥有多少功率，而在于这些功率究竟被用在了哪里。
大多数情况下，能量会泄漏到腔室壁中，从而造成浪费。因此，我们使用镀金反射器来避免这种情况。这样，热量就不会散失，而是会被重新引导到晶圆上。

为什么选择黄金？
想象一下普通的石英灯——它会把能量向360度方向散射。在加热器中，这意味着一半的能量在产生之初就已经浪费掉了。
而通过使用薄层黄金涂层，就可以解决这个问题。黄金在红外光谱中的发射率极低，其反射率可超过98%。也就是说，灯丝产生的几乎所有能量都会以集中的形式反射回来。