Curing polyimide cho chế tạo wafer

Tue, 09 Jun 2026 00:41:02 +0800

Trên sàn sản xuất, quá trình đông cứng polyimide không chỉ là một bước nhiệt thông thường. Nó là một cam kết về kích thước. Nếu điều chỉnh nhiệt độ chỉ một vài độ trên toàn bộ wafer, bạn sẽ làm thay đổi ứng suất, làm cong màng và thấy năng suất không đạt yêu cầu. Chúng tôi đã xây dựng phương pháp của mình dựa trên thực tế đó: giữ nhiệt độ ở mức quan trọng, mà không đánh đổi độ sạch sẽ hay thời gian hoạt động.

Đèn sưởi wafer giao hàng nhanh

Mon, 08 Jun 2026 02:18:14 +0800

Trên sàn lithography, bạn nhanh chóng nhận ra rằng một lần nướng mềm lệch nửa độ sẽ làm thay đổi ngân sách CD, và một lần nướng cứng không đồng nhất trên bề mặt wafer sẽ dẫn đến hiện tượng scumming và footing. Khi dây chuyền đang đuổi theo từng giây cho mỗi lô hàng, việc chờ đợi để thay đèn không phải là một lựa chọn.

Những gì quan trọng, về mặt kỹ thuật

Chúng tôi đã xây dựng đèn sưởi wafer nhanh chóng xung quanh một bộ phát NIR sóng ngắn trong một vỏ thạch anh, vì vậy nhiệt sẽ tác động trực tiếp lên wafer và phản ứng nhanh chóng. Trong toàn bộ khoảng xử lý, độ đồng nhất trên wafer giữ trong khoảng ±0.1°C, và độ lặp lại nhiệt độ nướng photoresist giữ ổn định qua từng lô hàng. Cụm lắp ráp được đánh giá cho phòng sạch Class 1–100, và các vật liệu cùng với các khớp nối đã được chọn để giữ việc phát sinh hạt ở mức không, nhằm tránh làm ô nhiễm đường đi hoặc máy phủ. Đầu ra được hiệu chuẩn cho độ bức xạ đồng nhất, điều này giữ ngân sách nhiệt trong tầm kiểm soát ngay cả sau khi thay đèn.

Bánh Wafer on Cozy Outdoor Patio IR Comfort

Curing polyimide cho chế tạo wafer

Đèn sưởi wafer giao hàng nhanh

Những gì quan trọng, về mặt kỹ thuật