http://cozy-patio-ir.com/uk/tags/%D0%B7%D0%BE%D0%BD%D0%BE%D0%B2%D0%B0%D0%BD%D0%BE/ Recent content in Зоновано on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo uk Fri, 26 Jun 2026 01:00:37 +0800 http://cozy-patio-ir.com/uk/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Fri, 26 Jun 2026 01:00:37 +0800 http://cozy-patio-ir.com/uk/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Зоноване опалення для сучасних заводів з виробництва пластин"></p> <p>Подивіться, як пластина розміром 300 мм виїжджає з конвеєра та потрапляє до модуля випалювання. Фоторезист мусить досягти необхідної температури – при цьому температура має бути однаковою на всій поверхні пластини. Якщо температура в одній з зон зміниться на 1°C, або ж з’явиться „холодна зона“ на краю пластини, контроль критичних розмірів буде порушений. У такому разі процес зупиняється.</p> <p><strong>Що насправді має значення</strong><br> Ми створили систему випалювання на основі зонованого нагрівання – окремі елементи системи швидко реагують та забезпечують однорідність температури по всій поверхні пластини. Під час процедур м’якого та жорсткого випалювання система підтримує стабільність температури в межах ±0,1°C. Це дозволяє захистити структуру фоторезисту та уникнути появи „стоячих хвиль“ на поверхні пластини.</p> http://cozy-patio-ir.com/uk/posts/zoned-infrared-heating-module/ Thu, 18 Jun 2026 00:39:20 +0800 http://cozy-patio-ir.com/uk/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Модуль інфрачервоного опалення з зонуванням"></p> <p>На виробничій лінії процес випалу матеріалу – це не просто певні температурні параметри; це також критерії допусків. Навіть незначна зміна температури на 1°C може вплинути на критичні розміри продукту, а місця з надмірно високою температурою можуть призвести до зниження якості продукції. Саме тому ми створили модулі інфрачервоного опалення з розділеною системою керування, щоб усунути необхідність припущень щодо термічного профілю.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору</strong> Ми використовуємо емітери короткохвильового інфрачервоного світла з швидкими пристроями керування, щоб тепло потрапляло саме туди, де потрібно, і саме у потрібний час. Модуль складається з окремо керованих зон, що дозволяє контролювати температуру на рівні всього пластини, а не в середньому по всій поверхні. Насправді це забезпечує однорідність температури на рівні ±0.1°C, а профілі випалу фоторезисту – на рівні ±0.5°C за кожен цикл. Використання матеріалів без кварцу та з низьким рівнем випаровування запобігає утворенню частинок на поверхні пластини, що є необхідним для роботи в чистих приміщеннях класу 1–100.</p>