Подивіться, як пластина розміром 300 мм виїжджає з конвеєра та потрапляє до модуля випалювання. Фоторезист мусить досягти необхідної температури – при цьому температура має бути однаковою на всій поверхні пластини. Якщо температура в одній з зон зміниться на 1°C, або ж з’явиться „холодна зона“ на краю пластини, контроль критичних розмірів буде порушений. У такому разі процес зупиняється.
Що насправді має значення
Ми створили систему випалювання на основі зонованого нагрівання – окремі елементи системи швидко реагують та забезпечують однорідність температури по всій поверхні пластини. Під час процедур м’якого та жорсткого випалювання система підтримує стабільність температури в межах ±0,1°C. Це дозволяє захистити структуру фоторезисту та уникнути появи „стоячих хвиль“ на поверхні пластини.
Кварцові та короткохвильові інфрачервоні джерела швидко та ефективно передають тепло, при цьому кількість частинок є мінімальною. Контролер відстежує кожну зону в реальному часі, що дозволяє компенсувати вплив крайніх умов та варіації температури між різними зонами.
Чому це працює у реальних виробничих умовах
У чистих кімнатах класу 1–100 кількість частинок є критично важливою параметром. Ці зоновані модулі не створюють додаткових частинок під час процедур нагрівання, що дозволяє зберегти необхідний рівень якості продукції. Це призводить до точнішого випалювання фоторезисту, меншої кількості продукції, яку потрібно переробити, а також до можливості безперервної роботи 24/7.
Практичні деталі, які потрібно правильно налаштувати
Інтеграція системи залежить від правильного підбору розмірів камери випалювання, параметрів потоку газу та ефективності відведення тепла. Існуючі кварцові елементи та пристрої для нагріву потребують швидкої перевірки їх сумісності з новою схемою зон та профілем температури.
Необхідно провести коротку перевірку для налаштування параметрів зон та швидкості нагрівання для вашого конкретного типу фоторезисту. Після цього процес буде працювати стабільно – незалежно від змін умов навколишнього середовища чи пори року.