Чому ми відходимо від використання гарячого повітря у процесі обробки напівпровідників
Якщо ви коли-небудь займалися оновленням обладнання для чистих приміщень, то знаєте, які труднощі супроводжують процес нагріву повітря. Це та частина процесу, яка завжди здається надзвичайно повільною.
Більшість старомодних заводів все ще використовують системи нагріву за допомогою гарячого повітря. Проблема полягає у тому, що цей процес складається з двох кроків: спочатку потрібно нагріти повітря, а потім сподіватися, що тепло дійсно потрапить до самого матеріалу. Це повільно та неефективно. Чесно кажучи, це досить розчаровуюче, коли потрібно дотримуватися певних термінів.
Ось чому багато хто переходить на використання інфрачервоного нагріву короткої довжини хвилі. Цей метод усуває необхідність використання посередника.
Не потрібно нагрівати повітря
Уявіть собі таке: при використанні гарячого повітря необхідно чекати, поки повітря достатньо нагріється, щоб тепло могло потрапити до матеріалу. А інфрачервоне випромінювання не залежить від повітря – воно передає енергію безпосередньо в матеріал. Таким чином не витрачається час на нагрівання приміщення; енергія надходить прямо до об’єкта обробки. Відстрочка між моментом увімкнення обладнання та досягненням необхідної температури практично зникає.
Більше пластин, менше простору
Коли використовується інфрачервоне нагрівання, зона нагріву може бути значно меншою. Оскільки тепло концентроване, не потрібні великі приміщення для нагріву. Це дозволяє заощадити чимало простору на заводі.
Але найбільшою перевагою є швидкість. Уявіть собі, що процес нагріву, який раніше тривав 10 хвилин, тепер може зайняти лише 2 хвилини. Це дозволяє обробляти значно більшу кількість пластин на годину, без необхідності купувати та встановлювати нове обладнання.
Реальність
Інфрачервоне нагрівання – це не чарівна паличка. У нього є свої недоліки. Оскільки тепло поширюється лише в певному напрямку, можуть виникнути проблеми з нерівномірним нагріванням. Якщо форма об’єкта обробки складна, інфрачервоні промені можуть не досягати всіх точок. У таких випадках все одно потрібен певний рівень конвекції для компенсації цих недоліків.
Ще один момент: лампи високої потужності дуже сильно нагріваються. Якщо ви працюєте цілодобово, не можна економити на кабелях чи вентиляторах для охолодження. Інакше можуть виникнути проблеми з контактами та непланові перерви у роботі.