วิธีรักษาห้องสะอาดระดับ Class 100 ให้สะอาดอยู่เสมอ
หากคุณกำลังดูแลห้องสะอาดระดับ Class 100 คุณคงทราบดีถึงปัญหาที่เกิดจากการมีอนุภาคสกปรกเกิดขึ้น แม้จะมีอนุภาคเล็กๆ เพียงชิ้นเดียว หรือก๊าซที่ออกมาจากองค์ประกอบที่ใช้ในการให้ความร้อน ก็สามารถทำให้ประสิทธิภาพของชิปเซมิคอนดักเตอร์ลดลงได้ ซึ่งเป็นเรื่องน่าหงุดหงิดมาก
นั่นคือเหตุผลที่เราเลิกใช้เครื่องทำความร้อนแบบธรรมดา และหันมาใช้ท่อควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง พร้อมผิวหน้าที่มีสารสะท้อนแสงทองคำ
ทำไมทองคำถึงสำคัญ
โดยปกติแล้ว หลอดไฟอินฟราเรดจะปล่อยความร้อนออกมาในทุกทิศทาง แต่ในเครื่องมือสำหรับผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ นั่นถือเป็นการสูญเสียพลังงานไปโดยเปล่าประโยชน์ เพราะสิ่งที่สำคัญคือความร้อนที่ตกกระทบกับ wafer เท่านั้น
ดังนั้น เราจึงเคลือบทองคำบางๆ ไว้ที่ด้านหลังของท่อควอตซ์ ซึ่งจะทำหน้าที่เหมือนกระจก ช่วยส่งพลังงานอินฟราเรดไปข้างหน้าได้
ผลลัพธ์ก็คือ ความหนาแน่นของความร้อนจะเพิ่มขึ้นอย่างมาก โดยไม่จำเป็นต้องเพิ่มกำลังไฟ คุณจะสามารถบรรลุอุณหภูมิที่ต้องการได้เร็วขึ้น นอกจากนี้ ทองคำยังมีคุณสมบัติทางเคมีที่ดี ไม่เกิดการออกซิเดชันหรือหลุดลอกออกมา ดังนั้นเป้าหมายในการรักษาห้องสะอาดให้ปราศจากสิ่งปนเปื้อนจึงยังคงเป็นจริงได้
เรื่องของสิ่งสกปรกบนวัสดุและความร้อน
เราเลือกใช้ท่อควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง เพราะจะช่วยป้องกันไม่ให้สิ่งสกปรกเข้ามาได้เมื่ออุณหภูมิสูงขึ้น หลอดไฟเหล่านี้ถูกออกแบบมาให้ทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็วได้
แต่ขอเตือนไว้ก่อนว่า เนื่องจากผิวหน้าที่มีสารสะท้อนแสงทองคำนั้นสามารถส่งพลังงานไปข้างหน้าได้อย่างมาก ดังนั้นความร้อนที่เกิดขึ้นที่ด้านหน้าจึงสูงมาก ดังนั้นคุณต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าระบบระบายความร้อนมีประสิทธิภาพดี มิฉะนั้นท่อควอตซ์อาจร้อนเกินไปได้
วิธีติดตั้งและการดูแลรักษา
เราออกแบบหลอดไฟเหล่านี้ให้สามารถติดตั้งได้ง่าย ไม่มีความยุ่งยาก เราได้เพิ่มความแน่นหนาให้กับตัวอุปกรณ์ เพื่อให้คุณไม่ต้องกังวลเรื่องอนุภาคสกปรกที่อาจหลุดออกมาขณะติดตั้ง
มีเคล็ดลับเกี่ยวกับการเดินสายไฟด้วย คือ ต้องให้แหล่งจ่ายไฟมีความเสถียร การมีแรงดันไฟฟ้าที่สูงเกินไปอาจทำให้ไส้หลอดไฟเสียหายได้
และหากคุณสังเกตเห็นว่ากำลังไฟที่ออกมาลดลง ก็มักเป็นเพราะมีสิ่งสกปรกอยู่บนผิวหน้าของท่อควอตซ์ คุณสามารถใช้น้ำยาทำความสะอาดระดับอิเล็กทรอนิกส์มาทำความสะอาดได้
กรุณาอย่าใช้ผ้าที่มีความหยาบ เพราะจะทำให้ผิวหน้าของท่อควอตซ์เสียหาย และก่อให้เกิดอนุภาคสกปรกขึ้นมาได้ ควรใช้ผ้าที่นุ่มแทน.