http://cozy-patio-ir.com/ru/tags/%D1%82%D0%BE%D1%87%D0%BD%D0%BE%D1%81%D1%82%D1%8C/ Recent content in Точность on Cozy Outdoor Patio IR Comfort Hugo ru Thu, 23 Jul 2026 09:24:45 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ru/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Thu, 23 Jul 2026 09:24:45 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ru/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Точный инфракрасный датчик для пластин"></p> <p>Сокращение выбросов углерода при обработке пластин (без потери эффективности)<br> Все производства полупроводников сейчас сталкиваются с необходимостью достижения целей нулевых выбросов. Но если посмотреть, куда именно уходит энергия, можно заметить, что значительная её часть тратится на нагрев и обработку пластин.</p> <p>Старый способ — использование больших конвекционных печей — по сути означает попытку нагреть одну-единственную пластину за счет нагрева всей комнаты. Это огромная трата энергии. Мы нашли более эффективный способ: используем точные инфракрасные датчики и системы нагрева, которые направляют энергию прямо на саму пластину, а не на всю комнату.</p> http://cozy-patio-ir.com/ru/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ Thu, 02 Jul 2026 02:28:29 +0800 http://cozy-patio-ir.com/ru/posts/high-precision-heat-for-wafer-ir/ <p><img src="http://cozy-patio-ir.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Высокоточное нагревание для ИК процессов с использованием кристаллов типа вафер"></p> <p>На этапе литографии даже небольшое смещение температуры в половину градуса во время обработки фотополимера является серьезной проблемой. Это приводит к снижению качества изделий при электрических испытаниях, а также к появлению частиц, которые необходимо устранять путем повторной обработки. Нагрев волнового диапазона инфракрасного света должен обеспечивать стабильную и однородную температуру на всей поверхности пластины, без возникновения загрязнений.</p> <p><strong>Что имеет значение на самом деле?</strong> Мы разработали систему нагрева на основе галогеновых излучателей короткой длины волны в модуле с кварцевым наполнителем, что обеспечивает быстрый отклик и точный контроль температуры. На пластине размером 300 мм мы поддерживаем однородность температуры в пределах ±0,1°C, а ее стабильность между последовательными процессами остается на уровне нескольких миллиградусов. Камера соответствует стандартам чистых помещений от класса 1 до класса 100; используются материалы с низким уровнем выделения газов, а также система управления потоком воздуха, которая минимизирует количество частиц. Отсутствие частиц – это не просто слоган; это результат правильного выбора материалов для обработки поверхности, а также эффективной системы вентиляции, которая предотвращает повторное осаждение побочных продуктов фотополимера.</p>