Не позволяйте системе обработки пластин превращаться в настоящую печь
Проблема с инфракрасными лампами заключается в том, что они излучают тепло во все стороны – под углом 360 градусов. В процессе обработки полупроводников любое тепло, которое не попадает на саму пластину, является бесполезным. Но это ещё не всё: эта лишняя энергия должна куда-то уходить, поэтому она накапливается на внутренних стенках оборудования. Мы видели много случаев, когда корпус оборудования становился настолько горячим, что создавал опасность ожогов. Такое состояние совершенно недопустимо в профессиональной рабочей среде.
Как направить тепло туда, куда нужно
Чтобы решить эту проблему, мы используем точные отражатели, которые перенаправляют излучение в нужное место. Вместо того чтобы тепло распространялось повсюду, отражатель сосредотачивает его в узком луче, направленном прямо на пластину. Это позволяет сосредоточить энергию именно там, где это необходимо. Поскольку излучение больше не попадает на корпус оборудования, внутренние стенки остаются прохладными. Операторы могут свободно касаться внешней поверхности оборудования, не беспокоясь о возможных ожогах.
Выбор подходящих материалов
Обычно мы используем алюминий высокой чистоты или подложки, покрытые золотом. Золото идеально подходит для работы с длинноволновым инфракрасным излучением: оно отражает больше энергии и не окисляется при высоких температурах. Если используются лампы с высокой мощностью, отражатель подвергается значительной нагрузке. Поэтому мы выбираем такие материалы, которые могут выдерживать такое тепловое расширение без деформации. Если отражатель изогнется, фокус будет смещаться, что приведет к неравномерной обработке пластины. Это серьезная проблема для устранения.
Компромиссы
Хотя сосредоточение тепла решает проблему безопасности, оно также создает дополнительную нагрузку на пластину. Время достижения нужной температуры сокращается, но есть один недостаток: если цикл управления температурой не настроен соответственно, можно превысить желаемую температуру. Необходимо тщательно проверить калибровку датчиков, чтобы они могли справляться с концентрированным излучением. Также стоит проверить работы вентиляторов охлаждения – необходимо убедиться, что лишняя теплота не накапливается вокруг ламп.