На производственном участке существует строгий лимит по тепловым показателям – его нельзя превышать. После имплантации необходимо достичь определенной температуры активации с максимально точным контролем ее значения. Если это не сделать, сопротивление пластины будет меняться, что приведет к снижению качества изделий.
Традиционные методы нагрева сопровождаются значительными задержками и нестабильностью в процессе. Процессная зона быстро сужается.
Что действительно важно Мы используем инфракрасные нагреватели и специальную конструкцию для эффективного распределения тепла. Энергия поступает непосредственно на пластину, быстро и чисто. На всей площади пластины размерное расхождение остается в пределах ±0,1°C. Это обеспечивает стабильность температуры на всех этапах обработки.
Класс чистой комнаты 1–100 гарантируется благодаря использованию материалов с низким уровнем выделения газов, герметичным соединениям и отсутствию частиц. Система работает круглосуточно без перерывов, а система управления поддерживает температуру фоторезиста в пределах ±0,2°C, что обеспечивает стабильность критических размеров.
Почему это важно при больших объемах производства Необходима повторяемость процесса на разных партиях продукции. Наши инфракрасные нагреватели сокращают время выполнения операций активации, одновременно контролируя тепловое напряжение. Это позволяет сохранять стабильность параметров фоторезиста на всех этапах обработки.
Меньше необходимости в корректировках. Более точное распределение сопротивления пластины. Меньшее потребление энергии на единицу продукции. Это позволяет планировать производственный процесс и снижать затраты на производство.
Чего следует учитывать при установке Необходима точная оптическая настройка и специальная система вентиляции для поддержания оптимального давления в чистой комнате. Мощность нагревателя должна быть настроена в соответствии с особенностями конкретной пластины и слоев покрытия.
Мы предоставляем рекомендации для конкретных задач, но все равно необходимо провести тестирование для различных видов имплантации и профилей аннелинга. После настройки система становится более стабильной. Но этот этап установки является обязательным.