Как сохранить чистоту вакуумных камер
Когда вы работаете в чистой комнате класса 100, даже самая маленькая ошибка может привести к катастрофе. Одна-единственная пылинка или небольшое количество химических газов, выделившихся во время процесса нагрева, могут разрушить вашу пластину.
Большинство стандартных нагревательных элементов не предназначены для использования в таких условиях. Они выделяют вредные вещества или окисляются, что приводит к появлению загрязнений на поверхности изделия. Поэтому мы используем синтетический кварц высокой чистоты для наших инфракрасных ламп. Такой кварц остается чистым даже при высоких температурах.
Проблема выделения газов
Мы используем лигированный кварц, потому что он не реагирует негативно при высоких температурах. В отличие от обычного стекла, он не разрушается и не выделяет вредные органические соединения в камеру.
В вакууме микроскопическая частица — это не просто пыль, а настоящий дефект. Устраняя примеси в кварцевом корпусе, мы предотвращаем попадание углерода или металлов в процесс производства.
Мощность и температура
Поскольку инфракрасное излучение не требует среды для распространения, оно идеально подходит для использования в вакууме. Мы спроектировали эти лампы с высокой плотностью мощности, чтобы можно было быстро повысить температуру. Энергия направляется непосредственно на обрабатываемый объект, что предотвращает поглощение лишнего тепла стенками камеры.
Однако следует помнить: лампы с высокой мощностью экономят время, но они сильно нагружают уплотнения в камере. Убедитесь, что уплотнители могут выдерживать местное тепловое расширение, чтобы не нарушить герметичность камеры.
Установка ламп
Мы используем стандартизированные разъемы. Их можно просто установить без необходимости перепроводки всей схемы, что значительно упрощает процедуру установки. Кроме того, мы полируем кварц до высокого блеска. Это предотвращает образование «точек нагрева», которые обычно приводят к преждевременному износу лампы.
Если вы используете систему с высоким уровнем вакуума, обязательно проверьте систему охлаждения. Эти лампы выводят огромное количество энергии, поэтому их концы могут нагреваться до такой степени, что могут размягчиться дешевые провода. Используйте провода, выдерживающие высокие температуры, чтобы избежать короткого замыкания.