Módulo de aquecimento por infravermelhos zonado

Thu, 18 Jun 2026 00:39:20 +0800

Na linha de fabricação, os processos de aquecimento suave e intenso não são apenas etapas relacionadas à temperatura – eles também representam limites de tolerância. Uma variação de 1°C já pode afetar negativamente as dimensões críticas do wafer, e um ponto quente pode causar perdas significativas na produção. É por isso que desenvolvemos módulos de aquecimento por infravermelho com controle por zonas, para eliminar a necessidade de estimativas arbitrárias quanto ao perfil térmico.

O que é importante, do ponto de vista técnico: Utilizamos emissores de infravermelho de onda curta, acionados por drivers de resposta rápida. Assim, o calor é aplicado exatamente onde e quando é necessário. O módulo é dividido em zonas controladas independentemente, o que permite ajustar a temperatura em cada área do wafer, em vez de média-la em toda a superfície. Na prática, isso garante uma uniformidade de ±0,1°C no wafer, e um controle preciso da temperatura durante todo o processo, com margem de erro de ±0,5°C, ciclo após ciclo. A construção sem quartzo e o uso de materiais com baixa emissão de gás evitam a formação de partículas no wafer, o que é essencial para operações em salas limpas de classe 1–100.

Zonificado on Cozy Outdoor Patio IR Comfort

Módulo de aquecimento por infravermelhos zonado