Sensor de IR de precisão para wafer

Thu, 23 Jul 2026 09:24:45 +0800

Reduzindo as emissões de carbono no processo de processamento de wafers (sem perder a cabeça)

Todas as fábricas de semicondutores estão enfrentando pressão para atingir metas de emissões zero. Mas, quando se analisa para onde vai toda essa energia, percebe-se que uma grande parte dela é desperdiçada no aquecimento e cura dos wafers.
O método tradicional – usar fornos convencionais – é como tentar aquecer um único grão de ervilha aquecendo toda a cozinha. É um desperdício enorme de energia. Encontramos uma maneira melhor, utilizando sensores infravermelhos precisos e sistemas de aquecimento que visam diretamente o wafer, e não todo o ambiente ao redor.

Calor de alta precisão para IR em wafers

Thu, 02 Jul 2026 02:28:29 +0800

No processo de litografia, uma desviação de meio grau durante o aquecimento do fotoreativo não é algo desprezível. Isso resulta em problemas durante os testes elétricos e em um aumento na quantidade de partículas que precisam ser removidas por meio de retrabalho. O aquecimento por IR deve ser preciso e estável em toda a superfície da wafer, sem causar contaminação.

O que realmente importa Construímos o sistema de aquecimento por IR com emissores de infravermelho de onda curta, localizados em módulos feitos de quartzo, para garantir uma resposta rápida e um controle térmico preciso. Em uma wafer de 300 mm, conseguimos manter a uniformidade térmica dentro de ±0,1°C, e a repetibilidade entre diferentes produções fica dentro de alguns miligraus. A câmara é compatível com ambientes limpos, desde a Classe 1 até a Classe 100, utilizando materiais que reduzem a emissão de gases e um sistema de circulação de ar que controla a quantidade de partículas presentes. A ausência total de partículas não é apenas um objetivo teórico – ela depende do acabamento da superfície, das escolhas de selagem e de uma estratégia de exaustão eficaz para evitar que os subprodutos do fotoreativo se depositem novamente.

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Sensor de IR de precisão para wafer

Reduzindo as emissões de carbono no processo de processamento de wafers (sem perder a cabeça)

Calor de alta precisão para IR em wafers