Lâmpada de aquecimento de wafer com envio rápido

Mon, 08 Jun 2026 02:18:14 +0800

No piso de litografia, aprende-se rápido que uma variação de meio grau na soft bake altera o orçamento de CD, e uma hard bake que não seja uniforme na pastilha provocará scumming e footing. Quando a linha está buscando segundos por lote, esperar pela troca de uma lâmpada não é uma opção.

O que importa, tecnicamente

Projetamos a lâmpada de aquecimento para wafers fast-ship em torno de um emissor NIR de onda curta em envelope de quartzo, para que o calor atinja diretamente o wafer e tenha resposta rápida. Ao longo da janela do processo, a uniformidade em nível de wafer se mantém dentro de ±0,1°C, e a repetibilidade da temperatura de bake do fotorresiste mantém-se constante lote após lote. O conjunto é classificado para cleanroom Classe 1–100, e os materiais e vedantes foram selecionados para manter a geração de partículas em zero, evitando a contaminação do track ou coater. A saída é calibrada para irradiância consistente, o que mantém o orçamento térmico sob controle mesmo após a substituição da lâmpada.

Envio on Cozy Outdoor Patio IR Comfort

Lâmpada de aquecimento de wafer com envio rápido

O que importa, tecnicamente